华海清科申请晶圆夹持机构等相关专利，公开调控组件与卡爪之间磁吸力使卡爪打开方式

本文源自:金融界

金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司;华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法”的专利，公开号CN120199723A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法，所述晶圆夹持机构包括：转盘；卡爪组件，其沿转盘的周向设置，所述卡爪组件包括固定座和一对卡爪，所述一对卡爪环绕所述固定座上方的圆柱件设置；所述一对卡爪的相对面配置有磁极相同的磁块，两者的磁斥力使得卡爪围绕所述圆柱件相互远离，卡爪的接触柱朝向所述转盘的内侧移动而闭合卡爪；调控组件，其设置于固定座的侧方且其前端朝向卡爪之间的间隙设置；所述调控组件的前端能够产生与卡爪的磁块相异的磁极，所述调控组件与卡爪之间的磁吸力使得卡爪围绕所述圆柱件相互靠近，卡爪的接触柱朝向所述转盘的外侧移动而打开卡爪。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目225次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息678条，此外企业还拥有行政许可30个。

华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目74次，专利信息95条，此外企业还拥有行政许可9个。