华海清科申请一种方形承载头和化学机械抛光系统专利，可调节基板角部的材料去除速率

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国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种方形承载头和化学机械抛光系统”的专利，公开号CN 121004541 A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种方形承载头和化学机械抛光系统，涉及半导体制造技术领域。所述方形承载头包括：联轴盘；方形基座，同心连接于联轴盘；装载组件，连接于方形基座下方，用于装载待抛光的基板；方形保持环，设置于方形基座下方并位于装载组件的外周侧；调节件，滑动连接于方形基座且竖向嵌入方形保持环的角部，所述调节件的上方配置有浮动组件，以推动所述调节件上下移动；所述调节件的底面抵接于基板四角的外侧区域而带动抛光垫变形，以改变基板角部的载荷而调节基板角部的材料去除速率。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35340.511万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目241次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息763条，此外企业还拥有行政许可31个。

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