华海清科申请一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备专利，提高晶圆处理工艺的精确性和一致性

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国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备”的专利，公开号CN121018398A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备，晶圆清洗装置包括：固定支座和与固定支座通过直线导向件连接的升降支座；安装于升降支座的旋转电机及清洁头，旋转电机驱动清洁头旋转；安装于固定支座的下压气缸，用于驱动升降支座沿直线导向件移动；设于直线导向件处的反扭矩补偿单元，用于抵消旋转电机输出的扭矩对直线导向件的侧向压力，从而提高晶圆处理工艺的精确性和一致性。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35340.511万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目241次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息763条，此外企业还拥有行政许可31个。

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