华海清科取得压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备专利，能够延长压力传感器寿命

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国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司取得一项名为“压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备”的专利，授权公告号CN223638333U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请提出了压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备。所述压力检测装置用于检测晶圆减薄设备的真空系统的压力变化，所述压力检测装置包括压力传感器和压力传感器管路，所述压力传感器管路的第一端连接于所述压力传感器，所述压力传感器管路的第二端用于连接所述真空系统的流体管路。该压力检测装置通过提供压力传感器管路能够延长压力传感器寿命。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35340.511万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目244次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息764条，此外企业还拥有行政许可31个。

华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目78次，专利信息113条，此外企业还拥有行政许可9个。

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