华海清科这回倒是让人意外了

作者| 方乔

编辑| 汪戈伐

华海清科旗下子公司芯嵛半导体研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE，近日成功进入国内先进存储领域龙头企业的生产线。此前该设备已批量交付多家集成电路头部企业，此番打入存储这一高门槛赛道，是华海清科向存储主战场延伸的具体落地。

这一进展发生在公司密集动作的背景下，今年4月，华海清科第1000台CMP设备出机发货，两大新厂区相继投入运营，筹备近8个月的H股计划宣告终止，随即转向A股定向增发，募资规模不超过40亿元。

从CMP设备国内市占率超90%的行业第一，到如今押注离子注入与平台化扩张，华海清科正在走一条更难但潜在空间也更大的路。

华海清科于2025年8月公告筹划赴港上市，初衷是拓展境外融资渠道、推进国际化布局。然而近8个月里几乎没有实质性进展，市场对其国内产能与研发扩张的关注度反而持续升温。

今年4月22日，公司宣布终止H股计划，改道A股定向增发，募资规模不超过40亿元，发行股数不超过总股本的10%（即不超过3536.52万股）。

这笔资金的去向相当集中，22.13亿元（占比55.33%）投向高端半导体装备研发，涵盖先进逻辑和先进存储所需的高端设备，以及CMP、离子注入、磨划等装备的关键零部件；13.42亿元用于在上海浦东新建集成电路装备研发制造基地，重点推进离子注入、CMP及减薄设备的能力建设。

剩余4.45亿元注入全资子公司晶科启源，在昆山新建晶圆再生产线，首期新增20万片/月产能。公司现有晶圆再生产线产能利用率已接近饱和，部分重要订单的承接能力已受到制约。

有一个细节值得注意：除晶圆再生项目外，此次定增并未披露具体新增产能目标，大部分资金流向研发而非直接建产线。这意味着40亿元投下去，短期内不太可能看到明显的业绩回报。

这与公司当前的财务处境形成了一定张力，2025年华海清科营收46.48亿元，同比增长36.46%，归母净利润却只增长了5.89%至10.84亿元；2026年一季度净利润增幅仍在6%附近徘徊。

同期拓荆科技、中微公司、长川科技2025年净利润增幅均超30%，2026年一季度更超190%。收入与利润的背离、与同行之间拉开的差距，正是这次大规模融资的现实背景。

华海清科的基本盘是CMP设备，芯片越先进，对晶圆表面平坦度的要求越精细，CMP工艺横跨制造端的多个关键步骤，是从成熟制程到先进制程都绕不开的环节。

这个市场曾长期由应用材料与日企荏原把持，两者在全球CMP设备市场的合计份额一度接近九成。华海清科2014年推出国内首台12英寸CMP商业机型，此后陆续打入中芯国际、华虹集团、长江存储、英特尔等头部客户供应链，国内新增市占率逐步反超。截至2026年4月，公司CMP设备累计出货突破1000台，国内市占率超过90%。

但这张成绩单的另一面是：国内市场已经很难再有大幅提升的空间。公司超过90%的营收来自国内，海外占比不足1%，2025年前五大客户销售额占总营收的64.07%。毛利率也从2023年的43.55%降至2025年的41.81%，核心装备业务连续三年走低。

相较而言，离子注入、检测等设备的国产化率目前仍不足10%，华海清科加码这些方向，替代空间更充裕。iPUMA-LE的性能已能满足先进制程与先进存储的工艺需求，除大束流系列外，中束流产品也取得阶段性进展，高能离子注入机已进入布局阶段，应用场景覆盖逻辑、存储、功率半导体等多个方向。

行业层面，需求端的支撑也在增强。据行业统计数据，2025年国内半导体设备行业净利润同比增长10.42%，2026年一季度增幅已扩大至60.42%。据行业机构预测，2027年全球300mm晶圆厂设备支出将超过1500亿美元，存储领域在2027至2029年的累计支出预计接近1750亿美元。

美光最新财务数据也印证了这一趋势：其2026财年第二季度净利润同比增长近8倍，DRAM营收增幅超过200%。华海清科在这一趋势中已有布局，2025年新签CMP订单中，较大比例来自先进制程客户，包含HBM及三维堆叠等先进封装方向。

此次新建的上海基地紧邻长三角半导体产业集群，与现有北京、广州基地在区位上形成补充。研发落地为产品、产品转化为订单，不会一蹴而就，但华海清科要做的事已经说清楚了，不止于CMP，而是在多个核心工序上站稳脚跟，逐步形成平台化的服务能力。