华海清科首台6英寸集成量测装备出机

（来源：SEMI）

自“华海清科”微信公众号获悉，8月6日，华海清科股份有限公司6英寸集成量测装备正式出机，发往国内光学硅材料领军企业。

据悉，华海清科推出6英寸集成量测装备，可以直接嵌入CMP工艺生产流程，完成抛光前后即时量测，并同步向生产控制系统传输数据。

该装备搭载SAPC（Smart Advanced Process Control）系统，以闭环反馈控制方式实时调整抛光时间与各区域抛光压力，显著提升晶圆片内及片间均匀性；量测全程无需离线转运，与机台现有终点检测系统深度融合，动态补偿工艺漂移与波动，进一步提升晶圆间与批次间的一致性。该装备可实时捕获制程偏移，减少返工与报废，有效提升装备综合效率与整体良率。

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据天眼查APP显示，近日，上海硅产业集团股份有限公司（简称“沪硅产业”）发生工商变更，注册资本由约27.5亿人民币增至约33.1亿人民币，增幅约20%。

资料显示，该公司成立于2015年12月，法定代表人为姜海涛，经营范围包括硅材料行业投资、集成电路行业投资、创业投资等，由上海国盛（集团）有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司、上海嘉定工业区开发（集团）有限公司等共同持股。