光刻机概念活跃助力主板，科创半导体ETF（588170）盘中交易活跃，持仓股中船特气涨停

截至2025年8月13日 14:18，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.77%，成分股中船特气涨停，上海合晶上涨13.04%，金宏气体上涨5.54%，天岳先进，有研硅等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨1.68%， 冲击3连涨。最新价报1.09元。拉长时间看，截至2025年8月12日，科创半导体ETF（588170）近1月累计上涨4.09%。流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手15.61%，成交6829.76万元，市场交投活跃。拉长时间看，截至8月12日，科创半导体ETF（588170）近1月日均成交5408.33万元。规模方面，科创半导体ETF（588170）近1周规模增长589.47万元，实现显著增长。份额方面，科创半导体ETF（588170）近1周份额增长600.00万份，实现显著增长。

消息面上，近日，中国半导体制造领域迎来突破时刻，璞璘科技自主研制的PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备成功交付给国内客户。设备实现了纳米级压印膜厚控制，技术指标达到平均残余层小于10纳米，变化小于2纳米，压印结构深宽比大于7:1，可满足线宽小于10纳米的制程需求。

首创证券认为，GPT-5更有竞争力的价格有望拉动Token调用量的大幅提升，从而提升对推理侧算力的需求，看好算力产业链公司。国产晶圆代工厂稼动率的持续提升，预示国内半导体需求仍处于景气复苏阶段，看好国内半导体设计龙头公司。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。