中船特气200吨/年高纯六氟丁二烯项目公示

（来源：精化大不同）

11月13日，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目环境影响评价公众参与征求意见稿公示，项目相关情况如下：

项目名称：年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目

建设地点：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司现有厂区1区

项目投资：382.57 万元

项目性质：改扩建

建设内容：该项目依托建设完成的高纯六氟丁二烯生产线部分设备进行了技术改造，以粗品六氟丁二烯粗品为原料，通过精馏系统进行提纯加工，生产高纯六氟丁二烯产品，年产高纯六氟丁二烯200吨。

关于六氟丁二烯

电子特气六氟丁二烯(C2F6)是一种有机氟化合物，具有高蚀刻率和选择性、低成本、高纯度和优良的电绝缘性能等优点，是一种理想的蚀刻气体。随着科技的不断发展，六氟丁二烯在微电子、半导体和集成电路制造等领域的应用前景变得更加广阔，目前中国半导体企业使用的电子级六氟丁二烯主要依赖进口，这在一定程度上限制了国内相关产业的发展，随着国内科技的不断进步和产业升级，对其的研发和生产逐渐得到了重视和发展，并取得了一些重要的研究成果，未来随着技术的不断进步和应用领域的拓展，电子级六氟丁二烯的产业化进程将继续加速。