微导纳米(688147.SH)：目前国内CVD市场的整体国产化率还较低

格隆汇6月1日丨有投资者向微导纳米(688147.SH)提问：公司目前正在开发的iTronix系列CVD系统产品的竞争优势是什么？

微导纳米回复：目前国内CVD市场的整体国产化率还较低，国内CVD设备市场具有十分广阔的市场空间。iTronix系列CVD系统，系公司基于客户关键工艺开发的战略需求，正在开发的新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料。产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。

该系列产品依托产业化应用中心强大的前瞻工艺开发能力及国际化的研发团队，以及公司所具有的半导体设备设计制造能力，解决关键工艺卡脖子问题，通过差异化策略开发CVD领域具有市场前景和竞争力的关键设备。