微导纳米申请装置和加工方法专利，专利技术能实现第一反应气体和第二反应气体的输出

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金融界2023年11月28日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种装置和加工方法“，公开号CN117127167A，申请日期为2022年5月。

专利摘要显示，本公开涉及一种装置和加工方法。在各实施例中，一种装置包括：第一喷淋板，其经配置以输入第一反应气体和第二反应气体；第一匀气板，其经配置以将所述第二反应气体分配至第二气体第一分配区以及与所述第二气体第一分配区连通的第二气体第二分配区；第二匀气板，其经配置以将所述第一反应气体分配至第一气体第一分配区以及与所述第一气体第一分配区连通的第一气体第二分配区；以及第二喷淋板，其经配置以输出所述第一反应气体和所述第二反应气体。