助力技术迭代 | 微导纳米钙钛矿ALD+PVD设备组合发货

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：微导纳米，股票代码：688147.SH）自主研发用于百兆瓦级大尺寸玻璃基底钙钛矿组件高效生产的ALD+PVD设备组合，发货至客户端进行量产工艺验证，标志着微导纳米钙钛矿ALD设备正式进入批量化重复订单交付阶段，配合ALD制备电子传输层界面钝化的首台PVD蒸镀设备，也步入产业化验证阶段。此次设备组合的顺利出货，彰显了微导纳米在钙钛矿电池装备制造领域的技术实力与产业化能力迈上了新台阶。

钙钛矿太阳能电池作为下一代光伏发电技术路线，具有光电转换率高、材料成本低、应用场景广等特点，近年来在产业化道路上进展迅速。该类电池主要包括五个功能层：透明导电氧化物(TCO）、空穴传输层(HTL）、钙钛矿层、电子传输层(ETL）以及背电极，这些功能层的形成需使用多道真空镀膜设备。在电池生产过程中，大面积电池器件的性能取决于各膜层的质量以及稳定性，因此成熟可靠的大面积均匀成膜技术成为推动钙钛矿太阳能电池产业化进程的关键所在。

微导纳米今年推出了第一代百兆瓦量产型ALD设备，不仅在氧化锡薄膜致密性和均匀性上达到了电池效率要求，而且生产节拍可达60秒/片，产能达到设计目标，该款ALD设备已获得多个重要客户订单，进入批量订单交付阶段。本次发货的ALD设备根据客户产线的玻璃尺寸对腔体和自动化进行了匹配，一次性完成了厂内验证并达到发货标准。全新开发的PVD蒸镀设备，作为ALD电子传输层方案的配套设备，在宽幅成膜上取得重要突破，步入产业化验证阶段。

当前，钙钛矿电池领域客户在不同的技术路线与应用场景之中布局，由此形成了对设备高度定制化的需求。微导纳米依托在真空镀膜设备和钙钛矿整线技术的经验积累，精准把握客户需求，提出最优解决方案，从设备端持续推动客户和产业的技术升级。公司也将于近期推出针对空穴传输层及界面钝化的ALD＋PVD综合解决方案，目前已完成开发制造和工艺验证，将发货至客户百兆瓦产线进行验证。

未来，微导纳米始终秉持“创新驱动 引领未来 为客户创造价值”的使命，积极推进钙钛矿产业的良性发展与持续进步，共同构建光伏行业高质量发展生态圈。

（转自：微导纳米）