微导纳米申请镀膜设备及其控制方法、装置、存储介质专利，能提高基材的移动速度和张力的稳定性

本文源自:金融界

金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“镀膜设备及其控制方法、装置、存储介质”的专利，公开号CN120026294A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体制备技术领域，公开一种镀膜设备，包括卷轴机构，用于对基材进行放卷和收卷；检测机构，设置于卷轴机构；能检测放卷侧和收卷侧其中一侧基材的移动速度、以及放卷侧和收卷侧另一侧基材的张力；镀膜机构，包括镀膜辊，用于设置于基材的移动路径上，以使基材能进行镀膜；控制机构，根据检测的速度值控制检测基材的移动速度一侧的卷轴机构的放卷速度或收卷速度、以及镀膜辊的转动速度；根据检测的张力值控制检测基材的张力一侧的卷轴机构的放卷扭矩或收卷扭矩、以及镀膜辊的转动扭矩。这样，能提高基材的移动速度和张力的稳定性，从而减少基材出现褶皱、断裂等情况。本申请还公开一种镀膜设备的控制方法、装置及存储介质。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息86条，专利信息496条，此外企业还拥有行政许可68个。