微导纳米申请测量管路清洗效率相关专利，提高半导体芯片的良率和性能

本文源自:金融界

金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法”的专利，公开号CN120063187A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本申请提供了一种测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法，测量装置用于测量半导体设备中管路的清洗效率，测量装置包括支架、载物盘和测试片，支架用于支撑于管路的内壁；载物盘设置于支架；测试片设置于载物盘。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息500条，此外企业还拥有行政许可68个。