微导纳米：公司ALD设备支持水蒸气与臭氧两种氧源方案
证券日报网讯 7月2日，微导纳米在互动平台回答投资者提问时表示，公司ALD设备支持水蒸气与臭氧两种氧源方案，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。具体零部件供应商名称因涉及商业保密信息不便披露，敬请谅解。
（编辑 楚丽君）
证券日报网讯 7月2日，微导纳米在互动平台回答投资者提问时表示，公司ALD设备支持水蒸气与臭氧两种氧源方案，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。具体零部件供应商名称因涉及商业保密信息不便披露，敬请谅解。
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