炬光科技(688167.SH)：光场匀化器已经用于国产光刻机样机中

http://ddx.gubit.cn 2023-05-05 15:33 炬光科技(688167)公司分析

格隆汇5月5日丨有投资者向炬光科技(688167.SH)提问：公司跟国产光刻机厂商是否有合作或者相关进展？

炬光科技回复：公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，已经用于国产光刻机样机中。