（来源：科创100ETF基金）
光刻机板块走强，腾景科技20CM涨停盘中创新高，炬光科技涨超15%，赛微电子（300456）、新莱应材（300260）涨超10%，江丰电子（300666）、凯美特气（002549）、茂莱光学、洪田股份（603800）、富创精密跟涨。