晶合集成获得发明专利授权:“半导体结构及其制备方法”
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构及其制备方法”,专利申请号为CN202511483770.0,授权日为2026年4月10日。
专利摘要:本申请提供了一种半导体结构及其制备方法,制备方法包括:提供基底;基底包括衬底、设置在衬底上的栅极结构、以及位于栅极结构两侧的牺牲侧墙;其中,衬底和栅极结构分别形成有金属硅化物;衬底的表面具有位于栅极结构与金属硅化物之间的间隙区域;基于应力临近技术,去除牺牲侧墙,并在衬底和栅极结构上设置应力层;应力层的厚度大于间隙区域的宽度;去除部分应力层,以使金属硅化物的至少部分表面暴露;剩余部分的应力层形成栅极侧墙;其中,间隙区域被栅极侧墙覆盖;在金属硅化物和栅极侧墙的表面设置第一层间介质层;对应金属硅化物的位置,刻蚀第一层间介质层以制备出接触孔。如此,减少了SPT工艺后制作的接触孔出现的高接触电阻问题。
今年以来晶合集成新获得专利授权151个,较去年同期增加了65.93%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目642次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1601条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可26个。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。