华特气体3月28日在互动平台表示,光刻气体在电子气体市场占比不大,覆盖了长江存储、中芯国际、华润微电子等知名半导体客户,公司自主研发生产的4款光刻气体是中国唯一一家同时获得荷兰ASML和日本GIGAPHOTON认证的气体公司。