华秦科技获得实用新型专利授权：“一种用于多靶共溅射镀膜的工装”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华秦科技（688281）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于多靶共溅射镀膜的工装”，专利申请号为CN202521326227.5，授权日为2026年7月7日。

专利摘要：本实用新型属于溅射镀膜工装技术领域，具体涉及一种用于多靶共溅射镀膜的工装。本实用新型通过实际生产需要可在连接盘上固定连接多个单靶固定装置，通过调节靶材支板在U型滑槽上的位置，可以较为灵活的控制多个磁控溅射装置之间的距离，在相同磁控溅射装置的靶材同溅射时，若零件较小，靶材之间距离较为远时，将会造成靶材的浪费，通过调整靶材之间的距离，提高靶材的利用率。进一步通过调整角度定位板与调节板之间的相对角度，进而控制靶材溅射角度，对于需要处理一些曲面件时，通过调整靶材角度实现镀膜的均匀性。本装置可在原有单靶镀膜设备上增加工装及配件能够实现多靶不同元素共溅射，极大减小新设备的采购，具有较高的经济实用性。

今年以来华秦科技新获得专利授权19个，较去年同期增加了46.15%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.5亿元，同比增64.25%。

通过天眼查大数据分析，陕西华秦科技实业股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目183次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息187条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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