敏芯股份取得惯性传感器专利，减少通过锚点所传递的应力

转自：金融界

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金融界2023年3月17日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“惯性传感器”的专利，公开号为CN117073670A，专利申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明的实施例公开了一种惯性传感器，其中惯性传感器包括结构层；第一器件层的第一表面与结构层相固定连接，在第一表面设有第一凹陷部，第一凹陷部的表面与结构层面向第一表面的一侧形成第一空腔；第一器件层还包括位于第一空腔内的至少一个锚点，在第一空腔的第一腔底设有至少一个第一凹槽，沿第一器件层的厚度方向上，第一凹槽从第一腔底伸入第一器件层内；至少一个锚点的外壁至少部分地构造成第一凹槽的内壁；沿第一器件层的厚度方向上，至少一个锚点的高度大于第一空腔的深度。根据本发明，其通过凹槽释放应力的同时，增加锚点的高度，减少通过锚点所传递的应力。

采集日期：2023年11月20日