中科飞测：公司90nm及以上工艺节点的套刻精度量测设备已实现批量销售

中科飞测11月3日在互动平台表示，公司90nm及以上工艺节点的套刻精度量测设备已实现批量销售，对应2Xnm工艺节点测量需求的设备也已获得多个国内领先客户的订单。公司金属薄膜膜厚量测设备市场认可进一步提升，覆盖更多集成电路客户需求。