中科飞测创新不止 加大研发投入

本报讯 （记者王镜茹）根据中科飞测最新发布的半年报，为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，中科飞测进一步加大新产品以及现有产品向更前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，以满足下游客户下一代工艺创新带来的设备需求。

2024年上半年，公司研发投入同比增长114.22%，研发投入占营业收入的比例高达44.66%，位于同行业领先水平。

自2014年成立以来，中科飞测持续在各类型产品快速迭代升级及新产品研发上加大研发投入规模，近5年来研发投入占营业收入的比例平均高达40%以上，自2017年以来公司几乎每年都有不同系列的产品取得产业化突破。

截至2024年6月30日，公司已形成九大系列设备和三大系列智能软件的产品组合，九大系列设备对应半导体质量控制设备的市场容量占比接近70%，面向包括前道制程、化合物半导体、先进封装、硅片及制程设备领域的全部种类集成电路客户需求。

目前公司在技术先进性、产品线丰富度、客户覆盖广度、市场占有率等方面已处于国内领先地位，并且在多项半导体质量控制设备关键核心技术上已经达到国际领先水平。

（编辑 张昕）