中微半导体设备（上海）股份有限公司2023年年度业绩预告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）预计2023年营业收入约62.6亿元，较2022年增加约15.2亿元，同比增长约32.1%。2023年新增订单金额约83.6亿元，较2022年增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。

　　●公司的主打设备产品，用于集成电路生产线的CCP和ICP等离子体刻蚀设备预计2023年营业收入约47.0亿元，较2022年增加约15.6亿元，同比增长约49.4%。2023年新增刻蚀设备订单金额约69.5亿元，较2022年增加约26.1亿元，同比增长约60.1%。

　　●公司预计2023年度实现归属于母公司所有者的净利润为17.00亿元至18.50亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加5.30亿元至6.80亿元，同比增加约45.32%至58.15%。

　　●公司预计2023年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为11.00亿元至12.40亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加1.81亿元至3.21亿元，同比增加约19.64%至34.86%。

　　一、本期业绩预告情况

　　（一）业绩预告期间

　　2023年1月1日至2023年12月31日。

　　（二）业绩预告情况

　　1.经财务部门初步测算，公司预计2023年营业收入约62.6亿元，较2022年增加约15.2亿元，同比增长约32.1%。其中，2023年刻蚀设备销售约47.0亿元，同比增长约49.4%;MOCVD设备销售约4.6亿元，同比下降约34.0%。公司从2012年到2023年超过十年的平均年营业收入增长率超过35%。

　　公司2023年新增订单金额约83.6亿元，较2022年新增订单的63.2亿元增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。其中刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%；MOCVD设备新增订单约2.6亿元，由于终端市场波动影响，同比下降约72.2%。

　　2.经财务部门初步测算，公司预计2023年度实现归属于母公司所有者的净利润为17.00亿元至18.50亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加5.30亿元至6.80亿元，同比增加约45.32%至58.15%。

　　3.经财务部门初步测算，公司预计2023年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为11.00亿元到12.40亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加1.81亿元到3.21亿元，同比增加约19.64%到34.86%。

　　（三）本次业绩预告未经注册会计师审计。

　　二、上年同期业绩情况

　　公司2022年度实现营业收入47.40亿元。

　　公司2022年度归属于母公司所有者的净利润11.70亿元，归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润9.19亿元。

　　三、本期业绩变化的主要原因

　　公司2023年度业绩预计较上年同期增长的主要原因如下：

　　1.近年随着人工智能、云计算、大数据、自动驾驶等新兴产业进一步加速发展，半导体微观加工设备作为数码产业的关键基石，其市场高速发展。公司主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司开发的多类刻蚀设备在性能、硬件稳定性等方面满足了客户先进制程中各类严苛需求，在产业化推进过程中取得显著成果。受益于公司完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等优势，2023年公司CCP和ICP刻蚀设备均在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升；公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS器件生产。

　　公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD设备和ALD设备，目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单；公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品，也会在近期投入市场验证。

　　公司开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率器件、Micro-LED等器件所需的多类MOCVD设备也取得了良好进展，2024年将会陆续进入市场。

　　公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地已正式投入使用、上海临港的约18万平方米的生产和研发基地部分生产厂房已经投入使用，支持了公司销售快速增长的达成。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。公司特别重视核心技术的创新，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入，同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。

　　2023年公司的MOCVD设备受LED终端市场波动影响，销售额有所下滑；而公司备品备件及服务方面则维持健康水平。

　　2.归母净利润同比增长约45.32%至58.15%的主要原因：由于2023年收入增长和毛利维持健康水平的情况下，扣非后归母净利润较上年同期增加约1.81亿元到3.21亿元。2023年非经常性损益约6.12亿元，较去年同期的2.50亿元增加约3.62亿元。非经常性损益的变动主要系公司于2023年出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元。

　　3.扣非后归母净利润同比增加约19.64%到34.86%的主要原因：2023年营业收入约62.6亿元，较2022年增加约15.2亿元，同比增长约32.1%；2023年毛利约28.5亿元，较2022年增加约6.8亿元，同比增长约31.6%。

　　2023年公司不断升华具有中微特色的公司体制和文化，持续践行和倡导“四个十大”的企业文化。2023年人均年化营业收入已达到约350万元，在国内处于同行业领先水平。公司为客户和市场提供高科技产品和服务的同时，对标国际领先ESG水准，持续提升在环境保护、社会责任和公司治理等方面水平。

　　公司将继续瞄准世界科技前沿，秉承三维发展战略，持续锻造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展，尽快在规模和竞争力上发展成为国际一流的半导体设备和高科技领先企业！

　　四、风险提示

　　本次业绩预告是公司财务部门基于自身专业判断进行的初步核算数据，尚未经注册会计师审计。公司不存在影响本次业绩预告内容准确性的重大不确定因素。

　　五、其他说明事项

　　以上预告数据仅为初步核算数据，具体准确的财务数据以公司正式披露的经审计后的2023年年报为准，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2024年1月15日