路维光电(688401.SH)：已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产

格隆汇11月10日丨路维光电(688401.SH)接受投资者调研时称，公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产，同时储备有150nm制程节点掩膜版制造技术和OPC、PSM等应用于中高端半导体掩膜版的制造技术。此外，公司积极开展130nm及以下制程节点掩膜版产品的工艺技术开发，并投资建设新的半导体掩膜版项目，制程节点已在渐进式提升，籍此不断提升公司在半导体掩膜版行业的技术能力和竞争力，为保障国内半导体供应链安全和良性发展做出积极贡献。