路维光电获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆及掩膜版的检测治具”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示路维光电（688401）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆及掩膜版的检测治具”，专利申请号为CN202521864613.X，授权日为2026年7月31日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆及掩膜版的检测治具，涉及半导体加工辅助工具技术领域，解决现有的掩膜治具通常只能检测一种尺寸的掩膜版，无法对晶圆或者其他尺寸形状的掩膜版进行检测的技术问题；所述的治具包括：底座，第一限位槽，设在底座内部，用于对一种尺寸的掩膜版进行固定；第二限位槽，设在底座内部且位于第一限位槽上方，用于对另一种尺寸的掩膜版和晶圆进行固定；本实用新型的治具内设置了两个不同尺寸的第一限位槽和第二限位槽，两个限位槽可以分别放置不同尺寸形状的掩膜和晶圆，可以匹配方形掩膜、圆形掩膜与晶圆产品的检测、清洗，具有实用性强，通用性高，便于取放的优点。

今年以来路维光电新获得专利授权5个，较去年同期增加了400%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3666.73万元，同比减2.53%。

通过天眼查大数据分析，深圳市路维光电股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目22次；财产线索方面有商标信息3条，专利信息94条，著作权信息15条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

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