中芯集成-U申请镜片保护装置专利，以减少附着于光学镜片上的附着物

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金融界2023年12月4日消息，据国家知识产权局公告，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请一项名为“镜片保护装置及半导体设备“，公开号CN117148531A，申请日期为2023年9月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种镜片保护装置及半导体设备，镜片保护装置包括：防护件；所述防护件上设有防护腔，所述防护腔沿第一方向贯通设置于所述防护件；所述防护腔内沿所述第一方向分为高压腔室和低压腔室；所述防护件上设置有注气通道，所述注气通道与所述高压腔室连通用于为所述高压腔室内注入洁净气体；所述防护件上设置有抽吸通道，所述抽吸通道与所述低压腔室连通用于抽吸所述低压腔室内的气体。如此配置，通过增加镜片保护装置对光学镜片保护，以减少附着于光学镜片上的附着物，保证光学镜片较优的透光率，降低光学镜片的更换频次。