芯联集成获得发明专利授权：“MEMS麦克风及其制造方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS麦克风及其制造方法”，专利申请号为CN202211493682.5，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底中部具有第一空腔；第一支撑层，位于所述衬底上，所述第一支撑层中部具有第二空腔；振膜层，位于所述支撑层上，所述振膜层包括可动部，所述可动部的中间部分的厚度小于所述振膜层的边缘部分的厚度；第二支撑层，位于所述振膜层上，第二支撑层中部具有第三空腔，其中，所述可动部位于所述第二空腔和所述第三空腔之间；背极板层，所述背极板层位于所述第二支撑层上。根据本申请的MEMS麦克风，具有较好的灵敏度和机械性能。

今年以来芯联集成新获得专利授权59个，较去年同期减少了7.81%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.64亿元，同比增10.93%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1712次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息763条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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