芯联集成获得发明专利授权:“一种MEMS麦克风器件及其制造方法”
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种MEMS麦克风器件及其制造方法”,专利申请号为CN202211180911.8,授权日为2026年7月14日。
专利摘要:本发明涉及一种MEMS麦克风器件及其制造方法,其中MEMS麦克风器件包括:具有背腔的衬底、形成于衬底上表面且具有与背腔相连通通孔的第一支撑部、形成于通孔内侧衬底上表面的截止环、形成于第一支撑部及截止环上表面的下极板、以及上极板;截止环用于阻挡刻蚀通孔时对第一支撑部的横向刻蚀;下极板包括相互连接的下极板主体部和下极板引出部;上极板形成于下极板主体部的上方且与下极板主体部之间形成空腔。本发明利用截止环将湿法释放工艺停止于截止环内部,规避了因过刻蚀造成的下极板脱落的风险,对于下极板为振膜结构还能够起到释放振膜应力的作用,减小振膜破损的发生。
今年以来芯联集成新获得专利授权48个,较去年同期增加了37.14%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了18.38亿元,同比减0.2%。
通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业,参与招投标项目1752次;财产线索方面有商标信息16条,专利信息845条,著作权信息3条;此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源:天眼查APP
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