奥特维捷芯取得缺料检测机构等专利，提高晶圆上料效率

本文源自:金融界

金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，无锡奥特维捷芯科技有限公司取得一项名为“一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机”的专利，授权公告号CN222945240U，申请日期为2024年07月。

专利摘要显示，本申请公开了一种缺料检测机构、上料机构及晶圆抛光机，该缺料检测机构包括基座、承载件和第一检测组件，承载件安装在基座上，承载件用于承载装有晶圆的晶圆盒；第一检测组件可升降地设置在承载件的一侧并且第一检测组件的检测端朝向承载件上装有晶圆的晶圆盒的开口侧，第一检测组件用于在升降过程中从晶圆盒的开口侧对承载件上的晶圆盒内的所有沟槽实施扫描，以检测晶圆盒的所有沟槽内的有料情况。上述缺料检测机构通过第一检测组件对晶圆盒的所有沟槽实施扫描，实现了单次完成对晶圆盒的所有沟槽内是否缺料的自动检测，根据检测结果，搬运机构可仅对晶圆盒内装有晶圆的沟槽实施上料操作，减少停顿时间，提高了晶圆的上料效率。

天眼查资料显示，无锡奥特维捷芯科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2500万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡奥特维捷芯科技有限公司专利信息15条，此外企业还拥有行政许可3个。