奥特维捷芯科技取得抛光盘清洁机构及晶圆抛光机专利，可减小抛光盘清洁结构占用空间

本文源自:金融界

金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，无锡奥特维捷芯科技有限公司取得一项名为“一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机”的专利，授权公告号CN222945276U，申请日期为2024年07月。

专利摘要显示，本申请公开了一种抛光盘清洁机构及晶圆抛光机，该抛光盘清洁机构包括基座、第一驱动件、升降驱动件、第二驱动件、摆动轴、摆动臂和清洁部，升降驱动件集成在摆动轴上，升降驱动件被配置为驱动摆动轴升降；摆动臂的第一端安装在摆动轴的第一端上，清洁部可转动地安装在摆动臂的第二端，第一驱动件的驱动端连接摆动轴的第二端，第一驱动件被配置为驱动摆动轴转动，以带动清洁部在等待工位和清洁工位之间交替运动，第二驱动件的驱动端传动连接清洁部，第二驱动件被配置为驱动清洁部旋转，以对待清洁的抛光盘实施清洁；上述抛光盘清洁机构通过将升降驱动件集成在摆动轴上，减小了抛光盘清洁结构占用的空间，使清洁机构的整体结构更加紧凑。

天眼查资料显示，无锡奥特维捷芯科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2500万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡奥特维捷芯科技有限公司专利信息15条，此外企业还拥有行政许可3个。