海目星申请硅片输送系统专利，提高硅片加工效率

转自：金融界

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金融界2024年3月11日消息，据国家知识产权局公告，海目星激光科技集团股份有限公司申请一项名为“硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法“，公开号CN117672934A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法，硅片输送系统，包括：转台装置，用于将硅片从进料位依次转动搬运至第一加工位、第二加工位和出料位；第一探针装置，包括受控能够上下移动的第一探针模组，第一探针模组位于第一加工位的上方，第一探针模组用于与位于第一加工位的硅片的第一加工区域相对、以避开位于第一加工位的硅片的第二加工区域；第二探针装置，包括受控能够上下移动的第二探针模组，第二探针模组位于第二加工位的上方，第二探针模组用于与位于第二加工位的硅片的第二加工区域相对、以避开位于第二加工位的硅片的第一加工区域。