光刻机板块异动拉升 芯碁微装盘中创历史新高

（来源：科创100ETF基金）

　　光刻机板块异动拉升，芯碁微装盘中创历史新高，赛微电子（300456）、张江高科（600895）、洪田股份（603800）、炬光科技、茂莱光学跟涨。