芯碁微装取得真空吸附固定式晶圆载台专利，提高晶圆载台的平整度

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国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“一种真空吸附固定式晶圆载台”的专利，授权公告号CN 223598699 U，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空吸附固定式晶圆载台，包括基座，该基座开设有环形气槽；圆盘，通过基座上开设的环形气槽被真空吸附在基座上；底座；顶升机构，该机构可真空吸附晶圆，并通过电机驱动装置带动晶圆上下运动；对准模块，通过该模块可获得晶圆曝光光路的位置坐标标定尺模块可确定晶圆载台及晶圆本身的坐标。本实用新型改变了传统晶圆载台上的晶圆接触面采用机械固定的方式，采用真空吸附方式固定圆盘，去除了机械固定而带来的应力，提高了晶圆载台的平整度，另顶升机构采用电机驱动，且载台设有对准模块和标定尺模块，可以有效提高晶圆载台的运行稳定性，便于晶圆载台准确定位，从而确保了晶圆的曝光精度。

天眼查资料显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司，成立于2015年，位于合肥市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13174.0716万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目150次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息376条，此外企业还拥有行政许可26个。

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