芯碁微装首款510mm×515mm PLP直写光刻设备获重要订单

【芯碁微装国内首款 510mm×515mm PLP 直写光刻设备获重要客户订单】该设备最大可支持 600mm × 600mm 加工尺寸，能够满足 CoPoS、玻璃基板、FOPLP 等先进封装工艺对 2μm 量产解析能力的要求。