东威科技取得驱动装置、配合结构及磁控溅射双面镀膜系统专利，便于阴极靶材的更换操作

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金融界2023年12月7日消息，据国家知识产权局公告，昆山东威科技股份有限公司取得一项名为“一种驱动装置、配合结构及磁控溅射双面镀膜系统“，授权公告号CN220132328U，申请日期为2023年6月。

专利摘要显示，本实用新型涉及镀膜技术领域，提供了一种驱动装置、配合结构及磁控溅射双面镀膜系统，其中驱动装置包括：第一驱动组件，包括第一驱动件和第一转移件，溅射磁极结构适于安装在第一转移件上；第二驱动组件，包括第二驱动件和第二转移件，镀膜辊结构适于安装在第二转移件上。利用第一驱动件和第二驱动件分别通过驱动第一转移件和第二转移件进入或者退出镀膜腔，以带动溅射磁极结构和镀膜辊结构进入或者退出镀膜腔，在溅射磁极结构中的阴极靶材使用结束后，利用第一驱动件驱动第一转移件带动溅射磁极结构退出镀膜腔，以对阴极靶材进行更换，更换过程是在退出镀膜腔后以外的工作空间，操作更换阴极靶材的空间较大，便于操作。