西安奕材获得发明专利授权：“一种载盘清洗装置和方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种载盘清洗装置和方法”，专利申请号为CN202310953853.6，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本发明提供一种载盘清洗装置和方法。载盘清洗装置，用于清洗硅片载盘，载盘清洗装置包括用于清洗硅片载盘的周向凹槽第一清洗组件，第一清洗组件包括驱动组件、清洗探针和导向结构，清洗探针与驱动组件传动连接，以使清洗探针能够在驱动组件的驱动下进行圆周运动，导向结构用于填充硅片载盘的周向相邻的两个凸起结构之间的径向凹槽，以使清洗探针沿硅片载盘的周向凹槽移动。本发明实施例的载盘清洗装置，通过设置驱动组件和清洗探针，通过驱动组件带动清洗探针沿着硅片载盘的轴向凹槽移动，通过设置导向结构，能够确保清洗探针在清洗过程中能够沿着周向凹槽移动，能够提高对于硅片载盘上的硅粉和硅颗粒的清除效果，降低后续对于硅片加工的影响。

今年以来西安奕材新获得专利授权13个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目7次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1518条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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