西安奕材获得发明专利授权：“一种外延晶圆的生产控制方法和装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种外延晶圆的生产控制方法和装置”，专利申请号为CN202211562068.X，授权日为2026年4月28日。

专利摘要：本发明提供一种外延晶圆的生产控制方法和装置。外延晶圆的生产控制方法应用于外延反应炉，外延反应炉包括工艺腔室和位于所述工艺腔室内的加热模组，所述加热模组包括多组位于不同位置的加热单元；所述方法包括以下步骤：获取晶圆的实时边缘变形量；比较预设的晶圆边缘变形量和所述晶圆的实时边缘变形量，当所述晶圆的实时边缘变形量大于所述预设的晶圆边缘变形量，调整所述加热模组的加热总功率和不同加热单元的功率比例，直至所述晶圆的实时边缘变形量小于等于所述预设的晶圆边缘变形量。本发明实施例能够降低晶圆的形状变化，从而实现降低晶圆的外延晶圆边缘区域出现颗粒聚集现象，有助于提高晶圆的良率和品质。

今年以来西安奕材新获得专利授权30个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1561条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。