恒运昌：公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系

证券日报网8月5日讯 ，恒运昌在接受调研时表示，经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，从测量、控制及架构构建的底层通用的3大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出8大产品化支撑技术，突破了高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底，公司已授权专利共296项，包括发明专利123项，实用新型专利72项，外观设计专利101项；公司已累计申请490项专利，其中发明专利262项，占比53.47%。

（编辑 楚丽君）