中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,利于控制源漏层的尺寸

查股网  2025-05-28 15:18  中芯国际(688981)个股分析

本文源自:金融界

金融界2025年5月28日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN120050971A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:在形成伪栅极之后,在隔离结构上形成初始第一介质层,初始第一介质层位于鳍部侧壁,且初始第一介质层暴露出鳍部顶部;刻蚀暴露出的鳍部和初始第一介质层,在隔离结构上形成第一介质层,并在鳍部内形成凹槽,以初始第一介质层形成第一介质层,凹槽底部表面低于第一介质层顶部表面;在凹槽内形成源漏层;在第一介质层上形成第二介质层,第二介质层位于伪栅极侧壁,第二介质层内具有开口,开口暴露出源漏层和第一介质层表面;在开口内形成导电层,利于控制源漏层的尺寸,且利于获得导电层和源漏层之间的良好接触,减少接触电阻,从而提高器件的性能。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息149条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可443个。