苏大维格:关于对深圳证券交易所关注函的回复公告

http://ddx.gubit.cn  2023-10-08  苏大维格(300331)公司公告

证券代码:300331证券简称:苏大维格公告编号:2023-064

苏州苏大维格科技集团股份有限公司关于对深圳证券交易所关注函的回复公告苏州苏大维格科技集团股份有限公司于2023年9月15日收到深圳证券交易所创业板公司管理部下发的《关于对苏州苏大维格科技集团股份有限公司的关注函》(创业板关注函〔2023〕第288号)。收到《关注函》后,公司就本次《关注函》所涉问题逐项进行了认真核查及分析说明,现就《关注函》所涉问题具体回复如下:

释义项释义内容
公司、本公司、上市公司、苏大维格苏州苏大维格科技集团股份有限公司
光刻技术利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将设计好的微图形结构转移到覆有光刻胶等感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术。
光刻设备光刻机、光刻系统
掩模光刻光源发出的光束,经掩模版在光刻胶等感光材料上成像。掩模光刻属于光刻技术的一种,其可进一步分为接近/接触式光刻以及投影式光刻。
无掩模光刻又称直写光刻,是计算机控制的高精度光束聚焦投影至涂覆有感光材料的基材表面上,无需掩模直接进行扫描曝光。
电子束光刻利用电子束在涂有电子抗蚀剂的晶片上直接描画或投影复印图形的光刻技术,属于直写光刻的一种。
激光直写光刻是计算机控制的高精度激光束根据设计的图形聚焦至涂覆有感光材料的基材表面上,无需掩模直接进行扫描光刻,属于直写光刻的一种。
激光直接成像、LDILaserDirectImaging,缩写为LDI,主要用于精密电路板制造工艺中的曝光工序。
掩模版又称掩膜版、光罩、光掩模、光掩膜等,是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,用于芯片等下游电子元器件行业批量复制生产。掩模版在生产中起到承上启下的关键作用,是产业链中不可或缺的重要环节。
nm纳米,是长度的度量单位,1nm=10-9m
μm微米,是长度的度量单位,1μm=1000nm

问题1:结合不同类型光刻设备的技术路线的差异,补充披露你公司所生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途、以及最近一年一期境内外销售情况,并核实说明你公司光刻设备是否能够直接用于芯片研发及制造、主要技术参数是否与业内龙头厂商存在较大差距,并进一步提示相关风险。

【公司回复】:

一、不同类型光刻设备的技术路线的差异,补充披露你公司所生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途、以及最近一年一期境内外销售情况

(一)光刻设备的技术路线及公司生产光刻机的类型、用途

光刻技术是现代半导体、显示面板、光电子等领域的产品制造过程中不可或缺的工艺流程之一。从曝光方式上,光刻机可以分为掩模光刻机(在运行过程中均需要使用掩模板),包括接触式/接近式光刻机,投影式光刻机(如DUV和EUV)等;以及无掩模光刻机,即直写光刻机,包括电子束光刻机、激光直写光刻机、激光直接成像设备(LDI)等。半导体及平板显示制造普遍采用“直写光刻制作掩模+投影光刻批量复制”的工艺过程。一般所称的光刻机是有掩模光刻机中的投影式光刻机,与公司所生产的激光直写光刻机不属于同一技术路线。

公司自2001年左右开始研发各类光刻设备,包括激光直写光刻机、纳米压印设备等,前述设备主要用于微纳光学产品和衍射光学器件的制造,公司所生产的光刻设备目前不涉及集成电路领域相关产品的生产。

(二)主要客户及下游用途、以及最近一年一期境内外销售情况公司开发生产的激光直写光刻设备是一种多用途的设备,目前主要是自用,公司对外销售的金额较小,2022年实现对外销售收入约770.93万元,2023年上半年实现对外销售收入约2,177.27万元,客户主要包括两类:第一类是高校和科研院所,其采购公司光刻设备主要是用作相关领域的研究。第二类客户是除高校和科研院所外的其他客户,主要包含各类企业客户,其采购公司光刻设备主要用于其部分产品的研发及小批量试制、微纳光学材料及光通讯器件的制作等领域。

公司相关光刻设备最近一年一期境内外销售情况如下:

2022年2023年上半年
光刻设备收入合计(万元)770.932,177.27
其中:境内460.842,177.27
境外310.09-
占当期营业收入比重0.45%2.76%

二、核实说明你公司光刻设备是否能够直接用于芯片研发及制造、主要技术参数是否与业内龙头厂商存在较大差距,并进一步提示相关风险

公司光刻设备目前不涉及集成电路领域相关产品的生产,这部分市场被行业龙头公司主导和垄断。公司光刻设备主要为自用于各类微纳光学产品和衍射光学器件的制造,对外销售金额较小,外部客户采购主要用于相关领域的研发、试制和微纳光学材料等生产。

公司激光直写光刻设备在最小线宽、线宽均匀度、网格精度、稳定性等关键技术参数与同行业龙头公司相比存在较大差距。

三、进一步提示相关风险

目前,公司生产的光刻设备主要为自用,外销收入占公司整体销售收入的比重不足3%,占比较小,对公司经营业绩没有重大影响,未来能否进一步扩大应用领域和销售规模存在较大不确定性,敬请广大投资者注意相关风险。

问题2:详细说明你公司纳米压印技术的具体用途、研发情况,以及在集成电路领域的布局情况,并充分提示相关风险。

【公司回复】:

一、公司纳米压印技术的具体用途、研发情况公司当前主营业务中最主要的收入来源于各类微纳光学产品,通过“激光直写光刻制作模具+纳米压印批量复制模具结构”的工艺,公司实现了光学3D印材与防伪材料、导光/匀光材料、柔性透明导电膜等产品的批量制造。现阶段,公司开发的纳米压印设备主要为公司自用,对外销售金额较小,对公司经营没有构成重大影响。公司目前在纳米压印领域的应用和研发,除透明导电薄膜外,主要集中在光学材料领域,与集成电路方面的应用无直接关系。

二、公司纳米压印技术在集成电路领域的布局情况,并充分提示相关风险从国际领先厂商相关技术进展看,虽然纳米压印技术在成本和处理上具有一定优势,但目前多停留在实验或验证阶段,要实现高端芯片的生产还面临着模板结构均匀性与分辨率、缺陷率控制、模板寿命、压印胶材料、模具定位和套刻精度等许多挑战,能否成功应用尚无定论。

公司注意到纳米压印光刻在集成电路领域的应用潜力,并拟对上述领域应用进行初步尝试。目前,公司纳米压印光刻技术在集成电路领域与早有相关布局的行业龙头公司相比,在分辨率等部分关键参数上存在数量级的差距,公司期望通过持续的研发,逐步缩小与国外龙头公司的差距,结果存在较大不确定性。

三、相关风险提示

现阶段,纳米压印光刻技术在集成电路领域的产业化应用方面仍存在较多的技术难题和不确定性。公司在纳米压印领域主要专注在微纳光学材料及衍射光学器件等领域,在其他领域的布局尚处于初期阶段,后续研发进展具有较大不确定性,敬请广大投资者注意相关风险。

问题3:结合问题1、问题2的回复,以及同行业可比公司情况、行业竞争格局、上下游情况、你公司光刻设备相关产品的市场占有率及占主要客户同类产品采购的份额等,进一步分析说明前述产品对你公司业绩是否具有重大影响,并结合上述问题的回复说明你公司相关互动易回复是否真实、准确,是否存在误导性陈述或重大遗漏。

【公司回复】:

一、结合问题1、问题2的回复,以及同行业可比公司情况、行业竞争格局、上下游情况、你公司光刻设备相关产品的市场占有率及占主要客户同类产品采购的份额等,进一步分析说明前述产品对你公司业绩是否具有重大影响

结合前文分析,公司激光直写光刻设备主要为自用,对外销售的客户类型主要包括高校及科研院所、部分企业用户,主要用途是科研以及相关产品的研发和小批量试制。公司纳米压印设备主要为自用,对外销售订单较少,金额较小,对公司经营业绩没有重大影响。

二、结合上述问题的回复说明你公司相关互动易回复是否真实、准确,是否存在误导性陈述或重大遗漏

公司证券部门在回复相关互动易问题时,直接使用了“光刻机”、“龙头芯片公司”等可能引起误解的表述,未能充分考虑到部分投资者可能对光刻机的技术路线、相关技术的具体应用领域等情况不了解,未详细说明公司光刻设备的具体类型,公司主要的应用领域,与行业龙头企业的差距,以及客户主要用途等信息;也未说明相关设备收入占公司收入比重较低,未充分提示相关风险。前述回复引起了部分投资者误会和误解,并导致公司股价发生较大波动,对此,公司及公司证券部门诚恳向投资者表示歉意,并将积极吸取经验教训,进一步完善相关制度和程序,持续学习相关产业政策和文件,努力提升与投资者互动沟通的严谨性与信息传递的完整性,不断提升公司信息披露水平。

问题4:核实说明你公司控股股东、实际控制人,董事、监事、高级管理人员及其直系亲属、持股5%以上股东近1个月买卖你公司股票的情况,未来3个月内是否存在减持计划,自查并说明你公司是否存在主动迎合市场热点炒作公司股价、配合相关股东减持的情形。

【公司回复】:

公司董事会收到《关注函》后,立即组织公司控股股东、实际控制人,董事、监事、高级管理人员及其直系亲属、持股5%以上股东进行自查并出具《关于买卖苏州苏大维格科技集团股份有限公司股票的自查报告》(以下简称“《自查报告》”)。

经核查,公司控股股东、实际控制人,董事、监事、高级管理人员及其直系亲属、持股5%以上股东近1个月内未出现买卖公司股票的情况;公司上述股东及相关人员未来3个月内不存在减持计划。

公司不存在主动迎合市场热点炒作公司股价、配合相关股东减持的情形。

问题5:结合你公司近期接受媒体采访、机构和投资者调研、回复投资者咨询等情况,说明是否客观、真实、准确、完整、公平地介绍公司业务的实际情况,是否存在违反信息披露公平性原则的情形。

【公司回复】:

公司近期未接受过媒体采访;公司于2023年9月15日参加了由苏州上市公司协会、深圳市全景网络有限公司联合举办的“2023年苏州辖区上市公司集体接待日暨中报业绩说明会”,具体内容详见公司于2023年9月15日披露的《投资者关系活动记录表》。公司机构和投资者调研主要形式为互动易平台问答和来电咨询。2023年8月15日至9月15日期间,公司共回复互动易平台提问问题23个。

特此公告。

苏州苏大维格科技集团股份有限公司

2023年10月8日


附件:公告原文