矽电股份：招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见

招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”或“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项进行了核查，具体情况如下：

一、本次募集资金的基本情况

经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票1,043.1819万股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54,537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46,352.87万元。

上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。公司已与存放募集资金的商业银行、保荐机构签署了募集资金三方监管协议。

二、募集资金投资项目基本情况

根据《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》及第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十三次会议审议通过《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》的相关内容，公司本次发行募集资金投资项目调整后的募集资金使用计划如下：

单位：万元序号 项目 拟投资总额

调整前拟投入募

集资金金额

调整后募集资金拟投资额

探针台研发及产业基地建设

项目

26,127.08 26,127.08 21,700.002 分选机技术研发项目 8,005.71 8,005.71 6,600.003 营销服务网络升级建设项目 5,454.72 5,454.72 4,500.004 补充流动资金 16,000.00 16,000.00 13,552.87

合计 55,587.51 55,587.51 46,352.87注：如上表各分项之和与合计数在尾数上存在差异，均系由四舍五入造成。

由于募集资金投资项目建设需要一定周期，根据公司募集资金投资项目建设进度，暂未投入使用的募集资金出现暂时闲置的情况。

三、本次使用闲置募集资金进行现金管理的情况

（一）现金管理的原因及目的

为提高募集资金使用效率，在不影响公司正常运作以及募投项目建设的前提下，公司结合实际经营情况，拟使用暂时闲置募集资金进行现金管理，增加资金收益，为公司及全体股东获取较好的投资回报。

（二）投资额度及期限

公司拟使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，上述额度自董事会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。闲置募集资金现金管理到期后将及时归还至募集资金专户。

（三）投资品种

公司将按照相关规定严格控制风险，对投资产品进行严格评估，拟使用部分闲置募集资金购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的产品，包括但不限于结构性存款、大额存单等保本型产品，且上述产品不得进行质押，产品专用结算账户不得存放非募集资金或用作其他用途。

（四）实施方式

在有效期和额度范围内，授权公司管理层进行投资决策，包括但不限于：选择合格的理财机构、理财产品品种、明确投资金额、投资期限、谈判沟通合同或协议等；在上述投资额度范围内，授权董事长签署相关合同文件，公司财务部负责组织实施和管理。该授权自董事会审议通过之日起12个月内有效。

（五）现金管理收益的分配

公司使用部分闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将严格按照中国证券监督管理委员会及深圳证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

（六）信息披露

公司将按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及公司《募集资金使用管理制度》等相关要求，做好相关信息披露工作。

（七）关联关系说明

公司拟向不存在关联关系的金融机构购买投资产品，本次使用闲置募集资金进行现金管理不会构成关联交易。

四、对公司日常经营的影响

公司坚持规范运作、防范风险、谨慎投资的原则，本次拟使用暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下进行的，不存在直接或间接变相改变募集资金用途情况。通过适度的现金管理，可以有效提高资金使用效率，获得一定投资收益，为公司及全体股东获取较好的投资回报。

五、投资风险及风险控制措施

（一）投资风险

虽然公司拟投资产品安全性高、流动性好，且经过严格的评估，但金融市场受宏观经济的影响较大，不排除受市场波动的影响，面临收益风险、政策风险、

市场风险、流动性风险、不可抗力风险等理财产品常见的风险，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量的介入，因此短期投资的实际收益不可预期。

（二）风险控制措施

1、公司利用闲置募集资金购买投资产品时，将选择安全性高、流动性好的

投资产品，明确好投资产品的金额、品种、期限以及双方的权利义务和法律责任等；

2、公司财务部将及时与银行核对账户余额，做好财务核算工作，一旦发现

存在可能影响公司资金安全的风险因素将及时采取保全措施，控制投资风险，并对所投资产品的资金使用和保管进行实时分析和跟踪；

3、公司内审部门负责投资理财产品与保管情况的审计监督，定期对募集资

金使用与保管情况开展内部检查；

4、公司独立董事、监事会有权对资金使用情况进行监督和检查，必要时可

以聘请专业机构进行审计；

5、公司将严格根据法律法规及深圳证券交易所规范性文件的有关规定，及

时履行信息披露义务。

六、审议程序及专项意见

（一）董事会意见

2025年4月14日，公司召开第二届董事会第十六会议审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响公司正常运作以及募投项目建设的前提下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品。上述额度自董事会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。闲置募集资金现金管理到期后将及时归还至募集资金专户。同时，授权公司管理层在上述额度范围内行使该项投资决策权，公司财务部负责组织实施和管理。

（二）独立董事意见

独立董事认为：公司在不影响募集资金投资项目建设的情况下，使用部分闲置的募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，有利于提高募集资金的使用效率，为公司及股东获取更多投资回报。公司本次使用募集资金进行现金管理的决策程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》以及公司《募集资金使用管理制度》等相关规定，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东尤其是中小股东利益的情形。

（三）监事会意见

2025年4月14日，公司召开第二届监事会第十三次会议审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》。

监事会认为：公司使用部分闲置募集资金进行现金管理，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关法律法规的规定，有利于提高资金使用效率，增加公司现金资产收益，不存在变相改变募集资金用途的情形或损害公司及股东利益的情形。

七、保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为：

矽电股份使用部分闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，该事项已经上市公司董事会及监事会审议通过，独立董事对该事项发表了明确同意意见，履行了必要的内部审批程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律法规的规定要求，不存在变相改变募集资金用途的情况，不存在损害公司及股东利益的情形。保荐机构对本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项无异议。