旭光电子：关于孙公司收到国家重点研发计划课题任务书的公告

成都旭光电子股份有限公司关于孙公司收到国家重点研发计划课题任务书的

公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

成都旭光电子股份有限公司（以下简称“公司”）的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司于近日收到中华人民共和国科学技术部下发的国家重点研发计划课题任务书，任务书基本内容如下：

1、课题名称：氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用

2、所属项目：半导体用高超精密晶舟及静电吸盘研制与应用

3、所属专项：先进结构与复合材料

4、项目牵头承担单位：中材高新氮化物陶瓷有限公司

5、课题承担单位: 宁夏北瓷新材料科技有限公司

6、课题负责人：陈军平

7、执行期限：2023年11月至2026年10月

8、课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统地开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多方面的研究，突破静电吸盘仿真结构设计、热导率和电阻率可调的组分设计、电介质层和加热层共烧致密化，温度和吸附力均匀性测试等多项关键技术，实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备，并且完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。

特此公告。

成都旭光电子股份有限公司董事会二○二三年十二月六日