至纯科技：国泰君安证券股份有限公司关于至纯科技使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见

国泰君安证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见

国泰君安证券股份有限公司（以下简称“国泰君安”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、“上市公司”或“公司”）的保荐机构，根据《公司法》、《证券法》、《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和《上海证券交易所股票上市规则》等有关规定，对至纯科技使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的相关事项进行了审慎核查，具体情况及核查意见如下：

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）批准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）以非公开发行股票的方式向特定投资者发行47,749,661股股票（以下简称“本次发行”），发行价格为28.79元/股，募集资金总额1,374,712,740.19元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为1,354,528,070.70元。上述资金已于2020年12月23日到位，众华会计师事务所（特殊普通合伙）对本次发行募集资金到达公司账户情况进行了审验并出具了众会字(2020)第8380号《验资报告》。

2023年6月21日，公司召开第四届董事会第三十六次会议及第四届监事会第三十四次会议，以5票同意，0票反对，0票弃权的表决结果，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币12,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月，并且公司将随时根据募投项目的工程进度及需求情况及时归还至募集资金专用账户。

二、募集资金投资项目的基本情况

根据《上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行A股股票预案》募集资金投资计划，公司募集资金拟投资项目如下：

单位：万元

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半导体湿法清洗设备扩产项目

40,000.00 25,500.00 25,500.00 19,779.24

半导体晶圆再生二期项目

60,000.00 59,000.00 38,471.27 2,293.21

光电子材料及器件制造基地建设项目

67,000.00 46,000.00 31,000.00 9,577.21

补充流动资金或偿还债务

55,500.00 55,500.00 40,600.00 40,461.01

222,500.00 186,000.00 135,571.27 72,110.67

注：由于本次非公开发行实际募集资金数额少于计划募集资金金额，公司根据实际募集资金数额，按照项目的轻重缓急等情况，调整并最终决定募集资金的具体投资项目、优先顺序及各项目的具体投资额，募集资金不足部分由公司自有资金或自筹解决。

2021年1月13日，经公司第三届董事会第四十二次会议审议通过，公司分别将募集资金31,000万元增资至光电子材料及器件制造基地建设项目实施主体；将募集资金25,500万元增资至半导体湿法清洗设备扩产项目实施主体。

截至2022年12月31日，本次募集资金账户余额合计33,588.26万元，2023年1月4日用于暂时补充流动资金的30,000万元于归还后，募集资金余额合计为63,588.26万元。

三、前次使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况

公司于2021年1月22日召开第三届董事会第四十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币38,471.27万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。上述补充流动资金的38,471.27万元募集资金公司

已于2022年1月21日归还至募集资金专户。2022年1月24日，公司召开第四届董事会第十四次会议、第四届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币30,000万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。上述用于暂时补充流动资金的30,000万元已于2023年1月4日归还至募集资金专户。

2023年1月5日，公司召开第四届董事会第二十八次会议及第四届监事会第二十七次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币35,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至本公告日，上述资金尚未到期归还。

四、本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的计划

根据募集资金投资项目的资金使用计划及项目的建设进度，公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，为了提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，公司拟使用不超过人民币12,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，并且公司将随时根据募投项目的工程进度及需求情况及时归还至募集资金专用账户。

本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金仅用于与公司主营业务相关的生产经营使用，不会通过直接或间接的安排用于新股配售、申购，或用于股票及其衍生品种、可转换公司债券等交易；不会变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行。

五、公司履行的内部决策程序情况

公司于2023年6月21日分别召开第四届董事会第三十六次会议、第四届监事会第三十四次会议，全票审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》。将闲置募集资金中不超过人民币12,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月，并且公司将随时根据募投项目的工程进度及需求情况及时归还至募集资金专用账户，独立董

事对上述事项发表了同意的独立意见。公司履行的审批程序符合相关法律法规的规定。

六、保荐机构的核查意见

经核查，国泰君安认为：公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，有利于提高资金使用效率、降低公司运营成本，符合公司业务发展的需要。公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，同时对公司募集资金投资项目的实施也不存在重大影响。公司上述募集资金使用行为已经公司董事会、监事会审议批准，独立董事亦发表明确同意的独立意见，履行了必要的审批程序，符合中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》以及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号—规范运作》等有关规定。

综上，国泰君安同意公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金。

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