中微公司：第二届董事会第十四次会议独立董事的事前认可意见

司6.7575%股权暨关联交易的

事前认可意见根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司独立董事规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基于独立、客观判断的原则，我们对公司通过上海联合产权交易所竞购睿励科学仪器（上海）有限公司6.7575%股权暨关联交易的相关事项发表事前认可意见如下：

1、公司本次通过上海联合产权交易所竞购睿励科学仪器（上海）有限公司

6.7575%股权系出于公司战略发展的需要，有利于进一步促进公司产业链延伸，有利于公司培育新的业务增长点，促进公司健康发展。

2、本次交易构成关联交易。

3、本次交易采用在产权交易所公开挂牌竞价方式，挂牌价格参照交易标的经评估的价值，竞价结果具有公允性，符合有关法律法规的规定，不存在损害公司及其他非关联股东，特别是中小股东利益的情形。综上，我们同意将上述关联交易事项提交公司第二届董事会第十四次会议审议，关联董事需要回避表决。

（以下无正文）