中微公司：关于提议回购暨公司“提质增效重回报”行动方案的公告

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2024-003

中微半导体设备（上海）股份有限公司关于提议回购暨公司“提质增效重回报”行动方案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，为维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，公司董事、监事、高级管理人员将采取措施，切实“提质增效重回报”。主要措施包括：

一、专注公司稳健经营，以良好的业绩成长回报投资者

半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关键，中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供微观加工所需的高端关键设备。公司所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备，受益于公司完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等优势，公司CCP和ICP刻蚀设备均在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升；公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS器件生产。公司近两年新开发的LPCVD设备和ALD设备，目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单；公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品，也会在近期投入市场验证。公司开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率器件、Micro-LED等器件所需的多类MOCVD设备也取得了良好进展，2024年将会陆续进入市场。

公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地已正式投入使用、上海临港的约18万平方米的生产和研发基地部分生产厂房已经投入使用，支持了公司销售快速增长的达成。公司特别重视核心技术的创新，始终强调创新和差异化并保持

高强度的研发投入，同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强，随着各募投项目建成，将进一步扩充公司主要产品的产能、丰富产品结构、降低生产成本，提升公司的竞争能力。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。公司从2012年到2023年超过十年的平均年营业收入增长率超过35%。

公司践行平台化发展战略，除持续进行新产品开发外，公司通过投资、并购等方式布局更多产品及产业链上下游领域，形成了良好的协同效应。未来公司将紧抓市场动态和技术发展动向，高效利用外部优势资源，推动产业外延扩张发展，拓展主营业务的发展空间。

公司不断升华具有中微特色的公司体制和文化，持续践行和倡导“四个十大”的企业文化。2023年人均年化营业收入已达到约350万元，在国内处于同行业领先水平。公司为客户和市场提供高科技产品和服务的同时，对标国际领先ESG水准，持续提升在环境保护、社会责任和公司治理等方面水平。

公司将继续瞄准世界科技前沿，秉承三维发展战略，持续锻造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展。

二、持续提高股东回报

公司重视对投资者的投资回报，致力于公司股价同公司价值增长匹配，实施了2023年半年度利润分配方案。公司将继续根据所处发展阶段，统筹好业绩增长与股东回报的动态平衡。近期，公司正处于产业布局与业务快速成长期，将继续匹配好资本开支、经营性资金需求与现金分红/股份回购的关系；长期来看，随着产业布局逐步完善，公司将持续提升股东回报水平，落实打造“长期、稳定、可持续”的股东价值回报机制，持续增强广大投资者的获得感。

三、以集中竞价交易方式回购公司股份

公司董事长尹志尧先生基于对公司未来持续发展的信心和对公司价值的认可，为增强投资者对公司的投资信心，同时促进公司稳定健康发展，于2024年1月31日提议通过集中竞价交易方式进行股份回购。回购的股份拟在披露回购

结果暨股份变动公告的12个月后采用集中竞价交易方式出售。如有注销、减少注册资本，股权激励或员工持股计划等相关事项需变更回购股份用途的，公司将就后续调整事项变更回购股份用途，并按照相关规定履行相关审议程序及信息披露义务。

1. 回购股份的种类：公司发行的人民币普通股（A股）。

2. 回购股份的用途：维护公司价值及股东权益

3. 回购股份的方式：集中竞价交易方式。

4. 回购股份的价格：不高于公司董事会审议通过回购方案决议前30个交易日公司股票交易均价的150%，具体以董事会审议通过的回购方案为准。

5. 回购股份的资金总额：不低于人民币30,000万元（含），不超过人民币50,000万元（含）。

6. 回购资金来源：公司首次公开发行人民币普通股取得的超募资金及公司自有资金。

7. 回购期限：自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起3个月内。公司董事会认为当前实施回购股份具有可行性，将尽快就上述提议内容认真研究，讨论并制定合理可行的回购方案，按照相关规定履行审批程序，并及时履行信息披露义务。

四、加强投资者沟通

公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守法律法规和监管机构规定，严格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露义务。公司通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、接待投资者现场调研、上证e互动、电话、邮件等诸多渠道，将公司经营成果、财务状况等情况，及时、公开、透明地传达给了市场参与各方。公司将积极与投资者保持密切沟通，打造高效透明的沟通平台。

公司将持续评估本次“提质增效重回报”行动方案的具体举措实施进展并履行信息披露义务，努力通过良好的业绩表现、规范的公司治理、积极的投资者回报，切实履行上市公司的责任和义务，回馈投资者的信任期待和关爱信赖。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2024年2月1日