中微公司：海通证券股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股份有限公司进一步明确募集资金投资项目相关事项的核查意见

海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司进一步明确募集资金投资项目相关事项的核查意见

海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）首次公开发行股票并上市及2020年度向特定对象发行股票持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司进一步明确募集资金投资项目相关事项进行了核查，具体情况如下：

一、 募集资金基本情况

中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

二、募集资金投资项目情况

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资

金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：

项目名称

中微产业化基地建设项目

317,00

0.00 317,000.00中微临港总部和研发中心项目

375,00

0.00 375,000.00科技储备资金308,000.00 119,816.24

1,000,000.00 811,816.24

三、本次进一步明确募集资金投资项目相关事项

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票募集说明书》，募投项目科技储备资金将用于满足新产品协作开发项目、对外投资并购项目等需求。公司为提升募集资金的使用效率、更好地为股东创造回报，基于公司目前战略目标和业务发展规划，本次进一步明确募集资金投资项目相关事项，科技储备资金拟用于新产品的自主研发，研发项目包括集成电路薄膜设备、集成电路检测设备、集成电路刻蚀设备、新型MOCVD设备、大面积平板显示设备和其他集成电路设备等，有助于公司打造平台型的设备龙头。本次进一步明确募集资金投资项目相关事项，是基于市场变化的客观情况及实际经营发展需要，符合公司战略规划发展布局，有利于公司提高整体研发效率和募集资金使用效率，优化研发项目之间的资源配置，加快推进研发项目进度，符合公司长远发展要求及全体股东的利益。

上述事项不会对募投项目的实施造成实质性影响，不存在改变或变相改变募集资金投向或损害公司和股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律、法规、规范性文件及公司制定的《募集资金管理办法》等规定的情形。

四、保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为，公司本次进一步明确募集资金投资项目相关事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序；公司本次进一步明确

募集资金投资项目相关事项，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对本次进一步明确募集资金投资项目相关事项无异议。

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