盛美上海：2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法

盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为了进一步建立、健全公司长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动公司员工的积极性，有效地将股东利益、公司利益和员工个人利益结合在一起，使各方共同关注公司的长远发展，在充分保障股东利益的前提下，按照激励与约束对等的原则，公司制定了《2026年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要，拟实施公司2026年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”、“激励计划”）。

为保证本激励计划的顺利实施，确保对激励对象的限制性股票授予与生效切合公司的实际管理需要，形成良好均衡的价值分配体系，同时保障限制性股票激励计划的公平性、有效性，现根据《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权激励信息披露》等相关法律、法规和规范性文件、以及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划（草案）》的规定和公司实际情况，特制定《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法》（以下简称“本办法”）。

一、考核目的

进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程度上发挥激励计划的作用。

二、考核原则

考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的业绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高公司整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。

三、考核范围

本办法适用于公司本激励计划所确定的所有激励对象，即董事会薪酬与考

核委员会确定并经董事会审议通过的所有激励对象，包括公司董事、高级管理人员、核心技术人员以及董事会认为需要激励的其他人员，不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

四、考核机构

（一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。

（二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与考核委员会负责及报告工作。

（三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供，并对数据的真实性和可靠性负责。

（四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。

五、考核指标及标准

（一）公司层面业绩考核要求

本激励计划授予的限制性股票考核年度为2026年-2029年四个会计年度，每个会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核年度的专利申请数（B）进行考核，根据各考核年度业绩指标的完成情况确定公司层面归属比例，各年度业绩考核目标安排如下表所示：

注：1.“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

2.“营业收入增长率”=当年度营业收入相较于上一年度营业收入增长率；

3.对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

4.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入增长率累计值（计算方法同盛美上海各考核年度所使用的营业收入增长率累计值）之和除以五；

5.当公司营业收入增长率累计值（A）及对标企业算数平均增长率均为负数时，业绩考核目标中的“对标企业算术平均增长率*0.8≦A<对标企业算术平均增长率”应替换为“对标企业算术平均增长率*1.2≦A<对标企业算术平均增长率”，“A<对标企业算术平均增长率*0.8”应替换为“A<对标企业算术平均增长率*1.2”；

6.如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在盛美上海董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在盛美上海董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据；

7.“专利”指公司及下属子公司在全球范围内申请并受理的全部类型的专利。

综合上述公司层面业绩考核要求，公司层面归属比例=X*80%+Y*20%。

（二）个人层面绩效考核要求激励对象个人层面绩效考核按照公司相关规定组织实施，并依照激励对象的考核评级确定其实际归属的股份数量。

激励对象的等级评定结果划分为优秀（A）、良好（B）、中等（C）、合格（D）、不合格（E）共五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

六、考核期间与次数

本激励计划授予的限制性股票考核年度为2026年-2029年四个会计年度，公司层面的业绩考核及个人层面的绩效考核每个会计年度考核一次。

七、考核程序

公司人力资源部在董事会薪酬与考核委员会的指导下负责具体的考核工作，保存考核结果，并在此基础上形成绩效考核报告上交董事会薪酬与考核委员会。

八、考核结果管理

（一）考核结果反馈与申诉

被考核对象有权了解自己的考核结果，人力资源部应在考核工作结束后5个工作日内将考核结果通知被考核对象。

如果被考核对象对自己的考核结果有异议，可与人力资源部沟通解决。如无法沟通解决，被考核对象可向薪酬与考核委员会申诉，薪酬与考核委员会需在10个工作日内进行复核并确定最终考核结果。

（二）考核结果归档

考核结束后，考核结果由人力资源部作为保密资料归档保存，绩效考核记录保存期5年，对于超过保存期限的文件与记录，经薪酬与考核委员会批准后由人力资源部统一销毁。

九、附则

（一）本办法由董事会负责制订、解释及修订。若本办法与日后发布实施的法律、行政法规和部门规章存在冲突的，则以日后发布实施的法律、行政法规和部门规章规定为准。

（二）本办法经公司股东会审议通过并自激励计划生效后实施。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会2026年4月27日