华海清科：关于12英寸单片终端清洗机出货的自愿性披露公告

华海清科股份有限公司关于12英寸单片终端清洗机出货的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示

? 近日，华海清科股份有限公司（以下简称“公司”）首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。

? HSC-F3400机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。

? 该产品是公司继CMP设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中的又一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响。

? 该产品尚需市场推广和更多客户对该产品进行验证，存在未来市场推广与客户开拓不及预期的风险。

一、 产品基本信息

近日，公司首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业。

HSC-F3400机型是公司面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备，该机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。机台搭载的高性能卡盘夹持技术，确保晶圆稳定高速运转，在产能优势明显的同时，具备安全性高、工艺调整灵活、可靠性强的特点，能够以较高使用寿命满足低成本运维需求。

二、 对公司的影响

HSC-F3400机型作为公司自主研发的终端清洗设备，是公司继CMP设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中推出的又一项重要成果。本次首台12英寸单片终端清洗机出货是公司立足产业化、面向市场需求全面发展的又一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响，有利于公司践行“装备+服务”的平台化发展战略。

三、 相关风险提示

公司12英寸单片终端清洗机尚需市场推广和更多客户对该产品进行验证，存在未来市场推广与客户开拓不及预期的风险。

敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告

华海清科股份有限公司

董 事 会2023年9月27日