芯碁微装：2022年年度股东大会会议资料

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年年度股东大会会议资料

2023年5月

目录

2022年年度股东大会会议须知 ...... 3

2022年年度股东大会会议议程 ...... 6

2022年年度股东大会会议议案 ...... 8

议案一 ...... 8

议案二 ...... 9

议案三 ...... 10

议案四 ...... 12

议案五 ...... 13

议案六 ...... 15

议案七 ...... 16

议案八 ...... 17

议案九 ...... 17

附件一 ...... 19

附件二 ...... 23

附件三 ...... 33

附件四 ...... 38

合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年年度股东大会会议须知

为了维护全体股东的合法权益，确保股东大会的正常秩序和议事效率，保证大会的顺利进行，根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司股东大会规则（2016年修订）》以及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）、《合肥芯碁微电子装备股份有限公司股东大会议事规则》等相关规定，特制定2022年年度股东大会会议须知：

一、为保证本次大会的严肃性和正常秩序，切实维护与会股东（或

股东代理人）的合法权益，除出席会议的股东（或股东代理人）、公司董事、监事、高级管理人员、见证律师及董事会邀请的人员外，公司有权依法拒绝其他无关人员进入会场。

二、出席会议的股东及股东代理人须在会议召开前30分钟到会议现场办理签到手续，并请按规定出示证券账户卡、身份证明文件或营业执照/注册证书复印件(加盖公章)、授权委托书等，上述登记材料均需提供复印件一份，个人登记材料复印件须个人签字，法定代表人证明文件复印件须加盖公司公章，经验证后领取会议资料，方可出席会议。会议开始后，由会议主持人宣布现场出席会议的股东人数及其所持有表决权的股份总数，在此之后进场的股东无权参与现场投票表决。

三、会议按照会议通知上所列顺序审议、表决议案。

四、股东及股东代理人参加股东大会依法享有发言权、质询权、

表决权等权利。股东及股东代理人参加股东大会应认真履行其法定义务，不得侵犯公司和其他股东及股东代理人的合法权益，不得扰乱股东大会的正常秩序。

五、要求发言的股东及股东代理人，应当按照会议的议程，经会议主持人许可方可发言。有多名股东及股东代理人同时要求发言时，先举手者发言；不能确定先后时，由主持人指定发言者。会议进行中只接受股东及股东代理人发言或提问。股东及股东代理人发言或提问应围绕本次会议议题进行，简明扼要，时间不超过5分钟。

六、股东及股东代理人要求发言时，不得打断会议报告人的报告或其他股东及股东代理人的发言，在股东大会进行表决时，股东及股东代理人不再进行发言。股东及股东代理人违反上述规定，会议主持人有权加以拒绝或制止。

七、主持人可安排公司董事、监事、高级管理人员回答股东所提问题。对于可能将泄露公司商业秘密及/或内幕信息，损害公司、股东共同利益的提问，主持人或其指定的有关人员有权拒绝回答。

八、出席股东大会的股东及股东代理人，应当对提交表决的议案发表如下意见之一：同意、反对或弃权。未填、错填、字迹无法辨认的表决票、未投的表决票均视投票人放弃表决权利，其所持股份的表决结果计为“弃权”。

九、本次股东大会采取现场投票和网络投票相结合的方式表决，结合现场投票和网络投票的表决结果发布股东大会决议公告。

十、本次会议由公司聘请的律师事务所执业律师现场见证并出具法律意见书。

十一、开会期间参会人员应注意维护会场秩序，不要随意走动，手机调整为静音状态，谢绝个人录音、录像及拍照，对干扰会议正常程序、寻衅滋事或侵犯其他股东合法权益的行为，会议工作人员有权予以制止，并报告有关部门处理。

十二、股东出席本次股东大会所产生的费用由股东自行承担。本公司不向参加股东大会的股东发放礼品，不负责安排参加股东大会股东的住宿等事项，以平等原则对待所有股东。

十三、本次股东大会登记方法及表决方式的具体内容，请参见公司于2023年4月20日披露于上海证券交易所网站的《关于召开2022年年度股东大会的通知》（公告编号：2023-026）。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年年度股东大会会议议程

一、会议时间、地点及投票方式

1、会议时间：2023年5月10日14：00

2、现场会议地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼会议室

3、投票方式：现场投票和网络投票结合

网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统网络投票起止时间：自2023年5月10日至2023年5月10日采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。

二、会议议程

（一）参会人员签到、领取会议资料、股东进行发言登记

（二）主持人宣布会议开始，并向大会报告出席现场会议的股东人数及所持有的表决权数量

（三）宣读股东大会会议须知

（四）推举计票、监票成员

（五）审议会议议案

1、《关于公司2022年年度报告及摘要的议案》；

2、《关于公司2022年度财务决算报告的议案》；

3、《关于公司2022年度利润分配预案的议案》；

4、《关于公司2022年度董事会工作报告的议案》；

5、《关于公司2022年度监事会工作报告的议案》；

6、《关于2022年度独立董事述职报告的议案》；

7、《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2023年度审计机构的议案》；

8、《关于2023年度向金融机构申请综合授信额度的议案》；

9、《关于公司2023年度董事、监事和高级管理人员薪酬方案的议案》。

（六）与会股东及股东代理人发言、提问

（七）与会股东及代理人对各项议案投票表决

（八）休会（统计表决结果）

（九）复会，宣读会议表决结果和股东大会决议

（十）见证律师宣读法律意见书

（十一）签署会议文件

（十二）会议结束

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年年度股东大会会议议案议案一

关于公司2022年年度报告及摘要的议案

各位股东及股东代理人：

根据《公开发行证券的公司信息披露内容与格式准则第2号——年度报告的内容与格式（2021年修订）》《公开发行证券的公司信息披露编报规则第15号——财务报告的一般规定（2014年修订）》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》等规范性文件的相关规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年年度报告》及其摘要。具体内容详见公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)和指定媒体披露的《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年年度报告》及其摘要（公告编号：2023-015）。该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案二

关于公司2022年度财务决算报告的议案

各位股东及股东代理人：

鉴于公司2022年度财务报表已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了标准无保留意见的审计报告。公司财务部根据2022年度的财务运行情况编制了2022年度财务决算报告，具体内容详见附件一。该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案三

关于公司2022年度利润分配预案的议案

各位股东及股东代理人：

经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计确认，公司2022年度实现归属于上市公司股东的净利润为136,585,006.80元，母公司实现的净利润为136,795,423.82元，截至2022年12月31日，母公司期末可供分配利润为人民币292,408,654.13元。充分考虑到公司目前经营需要及现金流情况，公司2022年度拟不派发现金红利，不送红股，不以资本公积转增股本，2022年度的未分配利润将累积滚存至下一年度，以优先满足公司重点在研项目及生产经营。

本年度公司不进行利润分配，主要因公司所处行业处于快速发展阶段，行业技术更迭快，需要不断进行研发投入，保持技术先进性，综合地考虑公司成长阶段与战略需要。公司2022年末留存未分配利润将转入下一年度，主要用于研发投入、市场拓展、定增募投项目建设的预先投入及其他扩大产能建设及生产经营发展等方面。2022年度利润分配预案符合公司当前的实际情况，充分考虑了公司现阶段的经营业绩与战略需要，兼顾股东的即期利益和长远利益，有利于公司持续稳定健康发展，同时符合《公司章程》、证监会及上交所对上市公司现金分红的相关规定，不存在损害公司及股东的利益的情形。

具体内容详见公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)和指定媒体披露的《2022年度利润分配预案的公告》（公告编号：2023-019）。

该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五

次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案四

关于公司2022年度董事会工作报告的议案各位股东及股东代理人：

2022年，公司董事会根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司治理准则》与《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《公司章程》、《合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会议事规则》的规定，认真贯彻执行股东大会通过的各项决议，勤勉尽责，切实履行公司及股东赋予董事会的各项职责。根据2022年度公司董事会工作情况，董事会编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会2022年度工作报告》，报告具体内容详见附件二。

该议案已经公司第二届董事会第六次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案五

关于公司2022年度监事会工作报告的议案

各位股东及股东代理人：

2022年，公司监事会根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司治理准则》与《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《公司章程》、《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会议事规则》的规定，贯彻落实股东大会各项决议，促进公司规范运作、科学决策，不断提升公司治理水平。根据2022年度公司经营情况以及监事会工作情况，监事会编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会2022年度工作报告》，报告具体内容详见附件三。该议案已经公司第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会

2023年5月10日

议案六

关于2022年度独立董事述职报告的议案

各位股东及股东代理人：

根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》与《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司章程》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会议事规则》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司独立董事工作制度》等制度的规定，独立董事编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年独立董事述职报告》，报告具体内容详见附件四。该议案已经公司第二届董事会第六次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案七关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2023年度

审计机构的议案

各位股东及股东代理人：

容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚”）具有为上市公司审计的相应执业资质和胜任能力，能够独立、诚信的对公司财务报表及内部控制情况进行审计，满足公司2023年度的审计工作要求，公司续聘会计师事务所不存在损害公司及其他股东特别是中小股东权益的情形。鉴于此，公司拟续聘容诚为2023年度财务报表及内部控制审计机构，聘期一年，并提请股东大会授权管理层根据本公司的业务规模、所处行业和会计处理复杂程度等多方面因素，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量确定2023年度审计费用。具体内容详见公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)和指定媒体披露的《关于续聘会计师事务所的公告》（公告编号：2023-021）。该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案八

关于2023年度向金融机构申请综合授信额度的议案

各位股东及股东代理人：

为促进公司健康持续发展，满足公司生产经营需求，公司拟向金融机构申请不超过人民币80,000万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。授权有效期自2022年年度股东大会审议通过之日起，至下一年度股东大会召开之日止，在授信期限内，授信额度可循环使用且单笔融资不再上报董事会或股东大会审议。上述事项已通过董事会审议，现提请股东大会授权公司董事长代表公司签署上述授信额度内的一切与授信有关的法律文件（包括但不限于签署授信、借款合同以及其他法律文件），并办理相关手续，由此产生的法律、经济责任全部由本公司承担。具体内容详见公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)和指定媒体披露的《关于2023年度向金融机构申请综合授信额度的公告》（公告编号：2023-020）。该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

议案九关于公司2023年度董事、监事和高级管理人员薪酬方案的议案

各位股东及股东代理人：

为进一步规范公司董事、监事和高级管理人员的绩效考核和薪酬管理，激励和约束董事、监事和高级管理人员勤勉尽责地工作，促进公司效益增长和可持续发展，根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，拟制定2023年度公司董事、监事和高级管理人员薪酬方案如下：

一、本方案适用对象公司第二届董事（含独立董事）、监事和高级管理人员

二、适用期限自本议案审议通过之日起至2023年年度股东大会止；

三、薪酬（津贴）标准

(一) 董事薪酬（津贴）

1、公司独立董事实行津贴制，2023年津贴标准为10万元/年（含税），按半年度发放；

2、公司外部董事（指未在公司及子公司担任其他职务的非独立董事）不从公司领取董事津贴；

3、公司内部董事（独立董事及外部董事除外）依据其在公司中担任的职务领取薪酬绩效，不再另行领取董事津贴。

(二) 监事薪酬（津贴）

1、职工代表监事依据其在公司担任的职务领取薪酬绩效，不再另行领取监事津贴；

2、股东代表监事不从公司领取监事津贴。

（三） 高级管理人员薪酬（津贴）

根据公司高级管理人员在公司所任职岗位以及公司薪酬管理相关制度等规则为执行标准领取薪酬，不额外领取津贴。

四、其他规定

公司董事、监事和高级管理人员因换届、改选、任期内辞职、解聘等原因离任的，按其实际任期计算并予以发放。

五、独立董事意见

公司独立董事认为，公司2023年度董事、监事和高级管理人员薪酬标准可以进一步规范公司董事、监事和高级管理人员的绩效考核和薪酬管理，激励和约束董事、监事和高级管理人员勤勉尽责地工作，促进公司效益增长和可持续发展。

该议案已经公司第二届董事会第六次会议及第二届监事会第五次会议审议通过，请各位股东及股东代理人审议。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2023年5月10日

附件一：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年度财务决算报告合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）2022年度财务会计报告按照企业会计准则的规定编制，经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了容诚审字[2023] 230Z0058号标准无保留意见的审计报告，认为在所有重大方面公允反映了公司2022年度的财务状况、2022年度的经营成果和现金流量。详细情况如下：

一、主要会计数据和财务指标

1.主要会计数据 单位：万元 币种：人民币

2.主要财务指标

平均净资产收益率（%）

二、公司财务状况分析

1.资产及负债状况及重大变化原因

单位：万元 币种：人民币

2. 利润表及现金流表相关科目标动分析

单位：万元 币种：人民币

营业收入变动原因说明：公司持续开拓市场，加大研发投入，品牌知名度增加，销量增加；营业成本变动原因说明：主要为收入同比增加，营业成本相应增加所致；销售费用变动原因说明：为公司加大市场开拓力度，销售人员和市场推广投入增加所致；管理费用变动原因说明：主要系公司新产品投入使用所致；财务费用变动原因说明：主要系2022年度利息收入及汇兑收益金额较大所致；研发费用变动原因说明：系公司持续加大研发投入、开拓产品线、新增研发人员所致；经营活动产生的现金流量净额变动原因说明：采购备货增加所致。投资活动产生的现金流量净额变动原因说明：理财产品赎回所致。筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明：偿还借款及支付股息所致。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2023年5月10日

附件二：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年度董事会工作报告2022年，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）董事会依照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司公司章程》（以下简称“《公司章程》”）《合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会议事规则》（以下简称“《董事会议事规则》”）等相关规定，以保障全体股东权益为目标，切实依法履行董事会职责，依规召开董事会、认真执行股东大会的各项决议，勤勉尽责地开展董事会各项工作。现将董事会2022年度工作情况报告如下：

一、2022年主要经营情况指标

2022年，面对复杂多变的外围环境，公司积极应对外部环境带来的挑战，始终坚持“光刻改变世界”的企业使命，坚持“以客户为中心”的经营理念，时刻牢记“IC装备、世界品牌”的愿景，不断攀登、奋斗。2022年业务发展卓有成效，公司主要经营数据如下所示：

单位：万元 币种：人民币

营业收入

归属于上市公司股东的

净利润

经营活动产生的现金流

量净额

归属于上市公司股东的

净资产

总资产

2022年公司业绩持续稳定增长主要系公司加大市场开拓力度，不断提升PCB产品市占率，深化拓展直写光刻设备在新型显示、PCB 阻焊、引线框架以及新能源光伏等新应用领域的产业化应用，拓宽下游市场覆盖面，推动主营业务规模的持续增长。同时公司瞄准快速增长的IC载板、类载板市场，加大市场导入力度，推动公司直写光刻设备产品体系的高端化升级，提升了直写光刻产品利润水平。

二、2022年度董事会履职情况

(一)董事会召开情况

在2022年度内，公司董事会根据《公司法》《公司章程》《董事会议事规则》等规定要求，共召开8次董事会会议，充分发挥了董事会的决策作用，具体情况如下：

(二)召集股东大会并履行股东大会情况

在2022年度内，公司董事会根据《公司法》《公司章程》等规定要求，召集并组织了4次股东大会。董事会严格根据股东大会的决议及授权，认真执行了通过的相关决议，具体情况如下：

(三)董事会履职情况

1、专委会履职情况

公司董事会下设四个专门委员会：战略与发展委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会。董事会就各专门委员会制定了相应的工作细则。各专门委员会的产生、人员组成及议事程序，均符合相关法律法规及《公司章程》等规定。在2022年度，董事会各专门委员会根据法律法规、《公司章程》及相应工作细则的规定，认真谨慎履职，为董事会决策提供了良好的建议及支持。在2022年度内，公司战略与发展委员会根据市场经济、行业发展态势、政策变化等多方面因素，并结合公司目前的实际运营情况，与公司高级管理人员、董事及监事多次沟通讨论公司未来的发展目标及前景，为公司将来的发展战略提出了切实有效的建议。

在2022年度内，审计委员会按照相关规定履行职责，详细了解公司的财务状况和经营情况，审查了公司的定期报告、关联交易、募集资金存放与使用情况、现金管理、综合授信、审计机构续聘、内部控制制度的完善及执行情况等事项，对公司财务状况和经营情况实施了有效的指导和监督。

公司提名委员会与公司董事、高级管理人员、人力资源等部门就公司核心人员的任职资格等进行认真的沟通讨论，2022年度，董事会提名委员会能够按照公司《董事会提名委员会工作细则》的要求，认真履行自己的职责，对非独立董事候选人赵凌云先生的任职资格进行了审核工作,确保了公司董事、高级管理人员聘任的客观性、公正性及合规性。

公司薪酬与考核委员会与公司人力资源等部门保持联系，沟通并讨论公司董事、高管薪酬方案及考核指标。

2、独立董事履职情况

公司独立董事根据《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》《公司章程》《董事会议事规则》《独立董事工作制度》等相关要求，履行义务，积极出席及列席董事会及股东大会，认真审议董事会的各项议案，运用其自身的经验

及知识对公司重大事项充分表达意见，对有关需要独立董事发表事前认可意见或独立意见的事项均按要求发表了相关意见，充分发挥了独立董事作用，为董事会的科学决策提供了有效的支持及保障。

(三)内控制度的有效性

公司已经根据《公司法》《证券法》等法律法规和中国证监会、上海证券交易所有关规定，建立了较为完善的公司治理结构和内控制度。在2022年度内，股东大会、董事会、管理层严格根据相关法律法规、《公司章程》以及内部管理制度的规定规范运作，切实保障了公司和股东的合法权益。公司的内部控制实际运作情况符合中国证监会、上海证券交易所发布的有关上市公司内部控制的要求。

（四）信息披露及内幕信息管理

2022年，公司严格按照《证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及《公司章程》《信息披露管理制度》《内幕信息知情人登记管理制度》等规章制度的规定，认真履行信息披露义务，披露各类定期报告和临时公告合计80份。公司依法登记和报备内幕信息知情人，全体董事、监事和高级管理人员及其他相关知情人员能够在定期报告及其他重大信息未对外披露的窗口期、敏感期，严格履行保密义务，公司未发生内幕信息泄露或内幕信息知情人违规买卖或建议他人买卖公司股票的情形。

（五）投资者关系管理工作

2022年，公司通过召开业绩说明会、可视化年报、投资者电话及问答回复、机构调研接待、策略会等多种形式加强投资者关系管理工作，有效地增进了投资者与公司的交流。公司2022年召开业绩说明会3次；通过投资者电话及时耐心回复投资者咨询；通过上证E互动平台直面中小股东，及时解决并审慎回复投资者问题，累计提问问题38条，回复38条，回复率100%；公司还积极接待机构调研活动，做好调研纪要并及时对外发布，合计发布投资者关系活动记录表3份；全面采用现场会议和网络投票相结合的方式召开股东大会，便于广大投资者积极参与，确保中小投资者参与公司决策。

公司把投资者关系管理作为一项长期、持续的工作来开展，不断学习、不断创新，以更多的方式和途径，使广大投资者能够更多地接触和了解公司，为提升公司经营管理水平建言献策，公司力求维护与投资者的顺畅关系，树立公司良好的资本市场形象。

三、2023年度董事会工作重点

2023年，公司将继续围绕发展战略和方向，在现有基础和优势上，整合内外部优势资源，加大技术和产品研发投入，开发新产品，开拓新应用，不断提高市场占有率，同时积极落实推进定增募投项目，推动公司稳定持续健康发展。

具体情况如下：

1、聚焦主航道、开发新产品、开拓新领域，提高产品技术水平和覆盖范围，走好“专精特新”之路

公司长期深耕以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产，专注服务于电子信息产业中PCB领域及泛半导体领域的客户。在PCB领域实行“两个替代”战略：在高端化领域推进对进口设备的替代、在中低阶领域实现对传统曝光机的替代。目前中低阶设备市场已相对成熟，公司在不断提升该部分量产设备性能的同时持续推进降成本工作，不断提升改部分设备市场率。高端化产品下游扩产火热，增量空间大，且公司技术优势明显，进口替代空间大。目前公司定增工作持续推进，未来随着公司定增募投项目的落实与建成，类载板及阻焊设备的产能将大幅提升，并凭借性价比及本土服务优势，进口替代战略持续推进，推动公司直写光刻设备产品体系的高端化升级，提升直写光刻产品利润水平，加速产品市场渗透率快速增长。在泛半导体领域公司实施“一个拓展”战略，横向拓展直写光刻设备多场景应用。加大市场开拓力度，深化拓展直写光刻设备在新型显示、引线框架以及新能源光伏等新应用领域的产业化应用，拓宽下游市场覆盖面，推动主营业务规模的持续增长。其中，IC掩模版制版、IC制造、FPD面板显示业务相对成熟，设备持续发货并实现快速增长。公司将持续加大对IC载板新品的研发，定增募投项目达产后将加速IC载板产能扩充，同时，晶圆级先进封装等新产品也将迎来产能加速释放。在新能源光伏领域，电镀铜作为光伏去银降本重要技术，曝光设备空间广阔，目前公司已经覆盖行业内多

家客户，积极布局光伏电镀铜领域，定增募资也将推进中试线到产业化的战略布局。

2、完善品控体系，严控品质管理

公司在供应商质量认证、来料检验、半成品检验、整机检验等环节严把品质关。通过多部门协同，建立供应商认证考核评价体系，健全供应商进、存、退供管理机制，对物料进行分级管理和供应商二元化管控，确保物料品质和供应链安全。在产品研制生产环节，品质管控细化至关键技术开发、样机试制、工艺中试、批量生产、客户端安装调试、客户端生产等环节，通过多方协同，品质管控覆盖产品整个生命周期，以保障产品和服务质量。公司严格执行品控流程，保障设备品质可控、可追溯，加强产品全生命连管理。

3、加强技术及产品开发流程，完善研发平台，强化知识产权管理

持续完善IPD研发管理，坚持以客户需求为导向，建立一套完善的市场调研、技术评估、产品立项、产品开发、试制及中试、量产等全流程评审决策机制，确保产品开发与客户需求对齐；调整和完善研发组织架构和工作流程，实现技术开发与产品开发的分工与协同，实现技术资源有效配置；进一步完善PLM研发管理信息化系统，提升研发效率，加强研发管理；持续推进知识产权保护，加强核心技术专利的系统布局，为公司的下一步发展奠定基础。

4、增强关键子系统及核心零部件研发水平，提升供应链自主可控能力

公司将加快对进行相关关键子系统、核心零部件自主研发项目的建设，引进先进的技术研发设备及专业人才，加大对高精度运动平台、先进激光光源、超大幅面高解析度曝光引擎、半导体设备前端系统模组（EFEM）等直写光刻设备关键子系统及核心零部件的技术研发，进一步丰富公司的核心技术体系，提升公司直写光刻设备核心技术竞争力，同时降低对进口关键子系统、核心零部件的依赖，降低直写光刻设备生产成本，提升产品综合市场竞争力。

5、加强人才梯队建设

坚持人才强企战略，夯实人才队伍建设。持续引进领军人才和高端人才，培养专业化人才队伍。建立健全人才考核评价体系和干部选拔任免制度，优化员工成长晋升职级体系，完善职工薪酬管理制度，建立健全一套完善的聘用、培训、考核、奖惩、晋升、淘汰的人力资源管理制度，实现“能者上、庸者下”的用人

机制，以及“能者多劳，多劳多得”的薪酬制度，打造一支有创新精神、奋斗精神、工匠精神和合作精神的高科技人才团队。关心员工成长，积极推进员工股权激励计划的落实，进一步发挥员工的主观能动性和开拓进取精神，为员工发挥个人价值提供广阔空间，实现企业效益和员工利益的有机统一，提升企业整体竞争力和可持续发展。

6、加强企业文化建设

持续推进企业文化建设，始终坚持“光刻改变世界”的企业使命，时刻牢记“IC 装备、世界品牌”的愿景，坚持“以客户为中心、坦诚正直、自省开放”的核心价值观，落实企业文化进入每个员工的每个工作环节，推动每个员工勇于担当，做问题的解决者。

7、增强公司资本实力，满足未来业务发展的营运资金需求

公司所处行业为高端装备行业，具有显著的资金密集特征，产能的扩建、技术研发活动的开展、生产运营、市场推广以及人才招募都需要大量的持续资金投入。通过定增项目的发行与实施，有利于增强公司的资本实力，亦将优化公司现有的资产负债结构，缓解中短期的经营性现金流压力，降低财务风险。与此同时，从长期发展的角度，公司资本实力和资金实力的增强，也有助于公司充分发挥上市公司平台优势，在业务布局、财务能力、人才引进、研发投入等方面作进一步的战略优化，持续提升公司业务覆盖度的深度及广度，敏锐把握市场发展机遇，实现公司主营业务的可持续发展。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司 董事会

2023年 5 月10日

附件三：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年度监事会工作报告

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）监事会严格按照《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）《上海证券交易所科创板上市规则》及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司公司章程》（以下简称“《公司章程》”）、《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会议事规则》（以下简称“《监事会议事规则》”）等相关规定，以维护公司利益和股东利益为原则，勤勉尽责，依规召开监事会、积极列席董事会和股东大会，并对公司重大事项的决策程序及合法合规性进行了核查，对公司董事、高级管理人员履行职责的情况进行监督，推动公司规范化运作。现将监事会2022年度工作情况报告如下：

一、监事会工作情况

在2022年度内，公司监事会根据《公司法》《公司章程》《监事会议事规则》等规定要求，充分发挥了监事会的监督作用，召开监事会的具体情况如下：

二、监事会对相关事项的意见

(一)公司依法运作情况

在2022年度内，公司遵循了《公司法》《公司章程》的有关要求，规范运作，依规召开董事会、股东大会及监事会，相关事项的决策程序合法有效；公司董事、高管执行职务时勤勉尽责，未发现违反法律、法规、公司章程或损害公司及股东利益的情形。

(二)公司财务情况

在2022年度内，公司监事会对公司财务制度和财务状况进行了认真的监督，公司财务会计内控制度较为健全，财务运作规范，公司定期报告真实地反映了公司的财务状况和经营成果，会计师事务所对公司出具的审计报告真实、客观和公正，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

(三)公司收购、出售资产交易情况

2022年度内，公司无需提交监事会审核的收购和出售资产交易。

(四)公司关联交易情况

2022年度内公司无需提交监事会审核的重大关联交易。

(五)公司对外担保情况

2022年度内公司无对外担保的情形。

（六）募集资金使用情况

通过对公司2022年度募集资金的存放和使用情况进行核查，2022年度，公司募集资金的管理、使用符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关规范性文件的要求，募集资金的存放与使用、募集资金现金管理等合法、合规，未发现违反法律法规及损害股东，尤其是中小股东利益的行为。

（七）内部控制情况

公司已严格按照《公司法》《企业内部控制基本规范》及其配套指引和证券

监管机构的要求，逐步建立较为完善的内部控制制度和内部控制组织架构，既有的内控体系不存在重大缺陷，能有效保证公司各项业务活动的有序运行，保护公司资产的安全与完整。

三、2023年监事会工作计划

2023年监事会将继续认真学习国家相关部门制定的政策规定，严格按照《公司法》《证券法》《上海证券交易所科创板上市规则》及《公司章程》《监事会议事规则》等相关规定忠实勤勉地履行自己的职责，进一步促进公司的规范运作，切实维护股东和公司的合法权益。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司 监事会

2023年 5 月10日

附件四：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2022年度独立董事述职报告

作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“公司”）的独立董事，我们严格按照《公司法》《证券法》《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》等相关法律法规要求和《公司章程》《公司独立董事工作制度》等规定，在2022年度工作中认真、忠实、勤勉、积极地履行独立董事的职责，积极出席公司召开的相关会议，认真听取和审议各项议案，并对董事会的重要决策事项发表了独立意见，充分发挥独立董事的专业职能，客观、独立和审慎地行使股东大会和董事会赋予的权力和义务，为公司的经营决策和规范化运作提出了合理的意见和建议，切实维护了公司的整体利益和全体股东尤其是中小股东的合法权益。现将我们2022年度履职情况汇报如下：

一、独立董事的基本情况

公司现有独立董事3人，占全体董事人数的三分之一。作为公司的独立董事，我们拥有专业资质及能力，在各自从事的专业领域积累了丰富的经验。

（一）现任及离任独立董事个人情况

1、陈小剑先生，男，1960 年 11 月生，中国国籍，无境外永久居留权，中国科学技术大学工程热物理专业本科、运筹学专业硕士，中国科学技术大学教授、博士生导师，国务院特殊津贴专家。1993 年，1996年 ，先后任中国科学技术大学副教授、教授。2019年4月至今，任中国科学技术大学科技战略前沿研究中心主任。2023年1月30日至今，担任公司独立董事。

2、杨维生先生，男，1961年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，南京大学高分子化学专业硕士研究生，研究员级高级工程师。1987年6月至1998年2月担任南京林产化学工业研究所水解室助理研究员；1994年10月至1996年10月，担任香港东方线路公司品质保证部技术员；1996年10月至1998年2月，担任南京依利安达电子有限公司技术部经理；1998 年2月至2021年7月，担任南京电子技术研究所工艺部研究员级高级工程师；现任中国电子材料行业协

会覆铜板行业技术委员会委员、中国电子电路行业协会科学技术委员会委员、中国电子电路行业协会标准化工作委员会委员、中国电子电路行业协会环保分会委员、中国深圳市线路板行业协会技术委员会顾问、深圳市线路板行业协会《印制电路资讯》杂志副主编；2019年11月至今，担任公司独立董事。

3、胡刘芬女士，女，1987年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，厦门大学财务学博士研究生，中国注册会计师（非执业会员）。现任安徽大学商学院副教授、硕士生导师，安徽大学会计系主任。2019年11月至今，担任公司独立董事。

4、张国铭先生（离任），男，1964年2月出生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士学历，高级工程师。张国铭于1985年7月至2000年10月担任国营北京七〇〇厂总工程师兼营销副厂长，2000年10月至2019年11月，曾任北京七星华创电子股份有限公司副总经理、北方华创科技集团股份有限公司副总经理、北京七星华创集成电路装备有限公司副董事长、北京七星华创集成电路装备有限公司董事长、北京七星华创集成电路装备有限公司执行董事、SevenstarElectronics, Inc.董事长、北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司董事长、北京七星华创流量计有限公司执行董事、北京北方华创微电子装备有限公司董事、北京钢研新冶精特科技有限公司董事等职务，2014年至今担任北京京运通科技股份有限公司董事，2019年11月至今担任华海清科股份有限公司董事、总经理；2019年11月至2023年1月，担任公司独立董事，后离任。

（二）是否存在影响独立性的情况说明

作为公司独立董事，我们本人及直系亲属、主要社会关系均未在公司或其子公司任职，且未在公司关联企业任职；没有为公司或其子公司、关联公司提供财务、法律、咨询等服务；我们未在公司担任除独立董事以外的任何职务。同时按照《关于在上市公司建立独立董事制度的指导意见》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关规定，我们均具备法律法规所要求的独立性，并在履职中保持客观、独立的专业判断，不存在影响独立性的情况。

二、独立董事年度履职概况

（一）参加董事会、股东大会情况

1、董事会、股东大会审议决策事项

2022年度公司共召开了8次董事会会议、3次临时股东大会及2021年度股东大会。我们按时亲自出席了股东大会、董事会及任职的专门委员会相关会议，无缺席会议情况。在审议董事会议案时，我们认真审议各项议案，均能充分发表自己的意见和建议，且对各议案未提出异议，均投了赞成票，没有反对、弃权的情况。2022年度，我们利用参加董事会和股东大会的机会对公司的生产经营、财务状况进行了解，多次听取了公司管理层对公司生产经营、内部控制、重点研发项目进度等情况汇报。2022年度，我们出席董事会和列席股东大会的具体情况如下：

注：对上述董事会会议所审议的相关议案均投了赞成票，没有反对、弃权的情况。

（二）出席董事会专门委员会会议的情况

2022年度，公司共召开专门委员会会议13次，其中战略与发展委员会会议4次，审计委员会会议5次，薪酬与考核委员会会议2次，提名委员会会议2次。作为各专门委员会委员，我们分别参与了各次董事会下属专门委员会会议，具体情况如下：

（三）现场考察及公司配合独立董事工作的情况

1、现场考察工作情况

2022年度，我们作为公司的独立董事，高度关注外部环境及市场变化对公司的影响，及时与公司董事会秘书沟通相关问题。在召开相关会议前，我们主动了解并获取做出决策所需要的情况和资料，认真审阅会议文件，积极参与讨论并提出合理意见或建议，在此基础上独立、客观、审慎地行使表决权。我们充分利用参加董事会现场会议和股东大会的机会，实地考察公司及其子公司运作情况，与公司董事、监事、高管及相关人员保持长效沟通，及时了解公司生产经营状况、财务情况，董事会、股东大会决议的执行情况及各类重大事项的进展情况，针对实际运行中遇到的问题及时提出建设性的意见。公司管理层高度重视与我们的沟通交流，在相关会议前及时传递议案及材料，充分保证了我们的知情权，及时汇报公司生产经营及重大事项进展情况，征求意见并听取建议，为我们更好的履职提供了必要的条件和大力支持。

2、公司配合独立董事工作情况

公司总经理、董事会秘书等高级管理人员与独立董事采取现场方式或电话、邮件、微信等通讯方式定期或不定期进行沟通，使独立董事能及时了解公司生产经营、内部控制、重点研发项目进度、子公司设立及运作等情况。同时在召开董事会及相关会议前，公司精心组织准备会议材料，并及时准确传递，为独立董事工作提供便利条件，积极有效地配合了独立董事的工作。

三、独立董事年度履职重点关注事项的情况

（一）关联交易情况

2022年度，公司无关联交易。

（二）对外担保及资金占用情况

2022年度，公司无对外担保事项，也不存在控股股东及其关联方非经营性资金占用的情况。

（三）募集资金的使用情况

2022年度，我们对公司募集资金的存放与使用情况进行了审查。经审查，我们认为公司严格按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律法规和公司募集资金管理相关办法的规定，对募集资金

进行了专户存储和专项使用，募集资金使用程序规范，对于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金、暂时闲置募集资金进行现金管理事项，公司均履行了相应的审议程序并及时披露，不存在变相改变募集资金用途的情形，也不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。

（四）并购重组情况

2022年度，公司没有进行并购重组。

（五）高级管理人员提名以及薪酬情况

2022年度，公司根据《中华人民共和国公司法》《公司章程》及有关法律法规的规定，完成了董事会换届选举，我们认真审核了公司第二届董事会非独立董事候选人与独立董事候选人的任职资格并发表了明确同意的独立意见。

我们一致认为，公司董事、监事、高级管理人员薪酬是根据公司2022年实际生产经营情况，结合各位高管人员的职责分工和年度考核情况而确定和支付的，符合公司有关薪酬政策和考核标准，发放程序亦符合有关法律规定。

（六）业绩预告及业绩快报情况

2022年度，公司根据《科创板上市规则》的有关规定披露了2021年度业绩预告、2021年度业绩快报，信息披露真实、准确、完整。

（七）聘任或者更换会计师事务所情况

公司2021年度股东大会审议通过了《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度财务审计机构的议案》，同意续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）作为公司2022年度财务报表审计机构。

（八）现金分红及其他投资者回报情况

经公司2021年年度股东大会审议通过了《关于公司2021年度利润分配的议案》，公司实施2021年年度利润分配方案，以2021年末总股本12,080万股为基数，向全体股东每10股分配现金红利2.0元（含税），合计派发现金红利2,416万元（含税）。我们认为，公司制定的2021年度利润分配方案，兼顾

公司发展需要和股东投资回报，符合相关法律法规及《公司章程》的规定，不存在损害公司和股东、特别是中小股东利益的行为。

（九）公司及股东承诺履行情况

我们对公司及股东做出的承诺进行了认真梳理，到目前为止公司及股东均能够严格履行相关承诺，没有发生违反承诺履行的情况。

（十）信息披露执行情况

报告期内，公司严格遵守《上市公司信息披露管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规要求，并根据公司制定的《信息披露事务管理制度》履行信息披露义务，同时在信息披露过程中持续做好内幕信息管理事项。2022年度，公司合计发布定期报告及临时公告80份，文件公平地向投资者披露了公司的重要信息，有利于保护投资者的合法权益。

（十一）内部控制的执行情况

公司严格按照《上市公司治理准则》《企业内部控制基本规范》及其配套指引等法律法规的要求，结合公司实际情况，持续建立健全内部控制体系的建设、执行与评价工作，推进企业内部控制规范体系稳步实施。2022年，未发现公司存在内部控制执行等方面的重大缺陷。

（十二）董事会及下属专门委员会的运作情况

2022年度，公司共召开8次董事会、13次专门委员会会议。公司董事会及各专门委员会的召集、召开程序、议案事项、决议执行情况均符合《公司法》《公司章程》等法律法规的要求。我们认为公司董事会及各委员会运作程序合法、合规、有效。

（十三）开展新业务情况

2022年公司发布公告拟定增募资约8亿元资金在下游应用领域内用于扩大PCB阻焊、IC载板、类载板产能，并拓展新型显示、引线框架、新能源光伏直写光刻设备业务，在业务布局、财务能力、人才引进、研发投入等方面作进一步的战略优化，持续提升公司业务覆盖度的深度及广度。

我们认为公司本次募集资金拟投资于科技创新领域的业务，符合国家产业政策和有关环境保护、土地管理等法律、行政法规的规定，符合公司的实际需要和长远发展，有助于增强公司持续经营能力和综合竞争力，符合公司和全体股东的利益对该议案事项，我们发表了同意的独立意见。

（十四）独立董事认为上市公司予以改进的其他事项

暂时没有需要公司需予以改进的事项。

四、总体评价和建议

2022年，我们作为公司的独立董事，本着对公司和全体股东认真、负责的态度，严格按照相关法律法规的规定，积极有效、忠实勤勉地履行了独立董事的职责和义务。我们对公司董事会审议的各项议案均坚持事先认真审核，积极与公司管理层沟通，充分发挥专业知识及独立作用，为董事会提供科学决策意见，客观审慎行使表决权，切实维护公司及全体股东的合法权益。

最后，我们对公司经营层及相关工作人员在我们2022年度工作中给予的协助和积极配合，表示衷心的感谢！

独立董事：陈小剑、杨维生、胡刘芬

张国铭（离任）2023年 5 月10日