芯碁微装：海通证券股份有限公司关于公司向特定对象发行限售股上市流通的核查意见
海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
向特定对象发行限售股上市流通的核查意见海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发行股票并上市以及2022年度向特定对象发行A股股票的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规定，对芯碁微装2022年度向特定对象发行限售股上市流通的事项进行了核查，具体情况如下：
一、本次限售股上市类型
本次限售股上市类型为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）向特定对象发行限售股。
（一） 股份发行核准情况
2023年3月15日，公司收到中国证监会出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行 A 股股票的注册申请。公司本次向特定对象发行股票总数量为10,497,245股，募集资金总额为人民币 797,685,647.55 元。
（二） 股份登记情况
公司本次向特定对象发行的10,497,245 股股份已于2023年8 月4日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。
（三） 限售期安排
本次向特定对象发行股份自发行结束之日起六个月内不得转让，发行新增股份在限售期满的次一交易日在上海证券交易所科创板上市交易，即本次限售股上市流通日期为2024年2月5日。
二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况
本次向特定对象发行的新股登记完成后，公司增加 10,497,245 股有限售条件流通股，公司总股本由 120,800,000股增加至131,297,245 股。公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期已完成归属，本次限制性股票归属新增的股份数量为121,841股，本次变更后，公司总股本由 131,297,245 股增加至131,419,086 股。
三、本次上市流通的限售股的有关承诺
本次上市流通的限售股属于向特定对象发行股份，认购对象均承诺认购所获的股份自发行结束之日起 6个月内不得转让。
除上述承诺外，本次申请上市流通的限售股股东无其他特别承诺。截至本公告披露日，本次申请上市流通的限售股股东均严格履行了上述承诺，不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。
四、本次上市流通的限售股情况
（一）本次限售股上市流通的数量为10,497,245股，占公司总股本的
7.99%。
（二）本次限售股上市流通日期为2024年2月5日
（三）限售股上市流通明细清单：
| 序号 | 股东名称 | 持有限售股数量（股） | 持有限售股占公司总股本比例（%） | 本次上市流通数量（股） | 剩余限售股数量（股） |
| 1 | 诺德基金管理有限公司 | 4,035,877 | 3.07 | 4,035,877 | 0 |
| 2 | 国泰君安资产管理（亚洲）有限公司 | 1,000,131 | 0.76 | 1,000,131 | 0 |
| 3 | 安徽中安高质量发展壹号股权投资合伙企业（有限合伙） | 921,173 | 0.70 | 921,173 | 0 |
| 4 | 汇添富基金管理股份有限公司 | 789,577 | 0.60 | 789,577 | 0 |
| 5 | UBS AG | 592,183 | 0.45 | 592,183 | 0 |
| 6 | 招商证券资产管理有限公司-招商银行-招商资管智增专享1号集合资产管理计划 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 7 | 吴秀芳 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 8 | 烟台山高致远私募（投资） | 394,788 | 0.30 | 394,788 |
| 基金合伙企业（有限合伙） | |||||
| 9 | 郭伟松 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 10 | 华泰资产管理有限公司-华泰优逸五号混合型养老金产品-中国银行股份有限公司 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 11 | 华泰资产管理有限公司-广州农商行-华泰资产价值优选资产管理产品 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 12 | 华泰资产管理有限公司-优选三号股票型养老金产品-中国工商银行股份有限公司 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 13 | 江西中文传媒蓝海国际投资有限公司 | 394,788 | 0.30 | 394,788 | 0 |
| 合计 | 10,497,245 | 7.99 | 10,497,245 | 0 | |
（四）限售股上市流通情况表：
| 序号 | 限售股类型 | 本次上市流通股份数量（股） | 限售期（月） |
| 1 | 向特定对象发行 | 10,497,245 | 6 |
| 合计 | 10,497,245 | - | |
五、本次股本变动结构表
| 股份类型 | 本次变动前 | 本次变动股份 数量（股） | 本次变动后 | ||
| 股份数量（股） | 比例（%） | 股份数量（股） | 比例（%） | ||
| 有限售条件股份 | 61,704,735 | 46.95 | -10,497,245 | 51,207,490 | 38.97 |
| 无限售条件股份 | 69,714,351 | 53.05 | 10,497,245 | 80,211,596 | 61.03 |
| 股份总数 | 131,419,086 | 100.00% | - | 131,419,086 | 100.00% |
六、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
芯碁微装本次限售股上市流通符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及规范性文件的规定；本次限售股股东均已严格履行了相关承诺；本次解除限售股份数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺；芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。综上所述，保荐机构对芯碁微装本次向特定对象发行限售股上市流通事
项无异议。（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页）
| 保荐代表人： | |||
| 林剑辉 | 周磊 |
海通证券股份有限公司
年 月 日